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[實用新型]一種多線切割導輪有效

專利信息
申請號: 201420176786.8 申請日: 2014-04-11
公開(公告)號: CN203805159U 公開(公告)日: 2014-09-03
發明(設計)人: 韓少華;張立;張久東;高峰;于晉京;范立軍 申請(專利權)人: 上海啟發電子科技有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 代理人: 馮子玲
地址: 200062 上海市普*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 切割 導輪
【說明書】:

技術領域

實用新型提供一種在多線切割中用于補償鋼線直徑變化的導輪。?

背景技術

隨著光伏和半導體產業的不斷發展,各下游廠商對硅片材料的質量提出了更高的要求。為滿足各下游廠商的高要求,對硅片切割技術提出了更高的挑戰。目前多采用多線切割方法將待加工棒材切割成具有一定厚度的片狀產品。在多線切割中通過在導輪上刻有等距、等深的V型槽(以下簡稱線槽),切割時由一根完整的鋼線從機床第一個導輪的第一個槽開始按照順時針或逆時針的順序分別纏繞至其他導輪,而當鋼線再次回到第一個導輪時由于導輪的第一個槽中有線,則鋼線必須沿該導輪的第2個槽開始纏繞,當鋼線將導輪中所有槽都繞滿時,在導輪之間既形成了密布鋼線的線網,使用該線網進行切割作業(如圖1所示)。由于用于切割的線網為一根鋼線在多個導輪上纏繞而成,所以在切割時由于線網末端的鋼線經過線網前端的切割之后,其直徑已經變小,整個線網呈現出線網始端高,末端低的狀態。這樣,在切割時,線網與晶體之間的距離不一致,容易造成切割出的硅片的質量不穩定,降低生產良率。?

實用新型內容

為達到上述實用新型目的,本實用新型采用以下技術方案:?

一種多線切割導輪,用于補償鋼線直徑變化,包括多個導輪以及纏繞在導輪上的鋼線,其特征在于:所述導輪呈錐形。?

可選地,所述導輪的直徑沿入線端和線網始端分別向出線端和線網末端逐漸增大,其直徑變化量A的設定:0<A≤0.6mm。?

可選地,還包括放線輪,收線輪,砂漿噴嘴,其中,鋼線從放線輪中放出,在所述導輪上纏繞,所述鋼線攜帶由砂漿噴嘴噴出的砂漿能切割被加工棒材,最后能由收線輪收走鋼線。?

應用本實用新型,可以補償鋼線直徑變化,使線切割機中線網高度一致,避免出現線網與晶體之間距離不一致現象。這樣,可以提高產品質量的穩定性,提高生產良率。?

附圖說明

圖1導輪纏繞線網的示意圖;?

圖2為本實用新型的錐形導輪線網始端與線網末端示意圖;?

圖3為普通導輪線網始端與線網末端線網高度差示意圖。?

具體實施方式

圖1導輪纏繞線網的示意圖:圖中1為放線輪,2為線網,3為導輪組,4為被加工棒材,5為砂漿噴嘴,6為收線輪。鋼線從放線輪1中放出,在導輪組3上纏繞成線網2,用線網2攜帶由砂漿噴嘴5中噴出的砂漿切割被加工棒材4,最后由收線輪6收走。?

如圖1所示在多線切割中通過在導輪組3上刻有等距、等深的V型槽(圖中未顯示,以下簡稱線槽),切割時由一根完整的鋼線從機床第一個導輪的第一個槽開始按照順時針或逆時針的順序分別纏繞至其他導輪,而當鋼線再次回到第一個導輪時由于導輪的第一個槽中有線,則鋼線必須沿該導輪的第2個槽開始纏繞,當鋼線將導輪中所有槽都繞滿時,在導輪之間就形成了密布鋼線的線網2,使用該線網進行切割作業。?

圖3為普通導輪線網始端與線網末端線網高度差示意圖。由于導輪直徑一致,其頭部和尾部線網存在高度差H。?

圖2為本實用新型的錐形導輪線網始端21與線網末端22示意圖。導輪頭部直徑D1與尾部直徑D2之間存在一直徑差,由于直徑差的存在,彌補了鋼線直徑變化造成的頭尾線網高度差,使線網始端21和線網末端22高度一致。?

顯然,本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣,倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內,則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。?

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