[實用新型]一種基于紅外濾波的紅外雙色探測器有效

申請號：	201420175324.4	申請日：	2014-04-11
公開（公告）號：	CN203883014U	公開（公告）日：	2014-10-15
發明（設計）人：	黃立;周文洪	申請（專利權）人：	武漢高德紅外股份有限公司
主分類號：	H01L31/0216	分類號：	H01L31/0216;H01L27/144
代理公司：	武漢開元知識產權代理有限公司 42104	代理人：	唐正玉
地址：	430205 湖北***	國省代碼：	湖北;42
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種基于紅外濾波探測器
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【權利要求書】：

1.一種基于紅外濾波的紅外雙色探測器，主要包括紅外探測器芯片和兩套紅外濾光及增透薄膜，其特征在于：兩套紅外濾光及增透薄膜交錯排列在紅外探測器芯片的紅外輻射入射面上，并與紅外探測器芯片的敏感像元一一對應，且兩套紅外濾光及增透薄膜透過紅外光為兩個不同波段，所述的紅外探測器芯片的相鄰兩個敏感像元對兩個不同波段的紅外光能同時響應和成像。

2.如權利要求1所述的基于紅外濾波的紅外雙色探測器，其特征在于：所述的紅外探測器芯片采用常用的背入射單色紅外探測器芯片工藝制備而成，制備紅外探測器芯片的材料為響應光譜為寬波段響應，且包括所述兩套紅外濾光及增透薄膜透過的兩個波段。

3.如權利要求1所述的基于紅外濾波的紅外雙色探測器，其特征在于：所述的紅外濾光及增透薄膜通過常用的雙面對準光刻、物理氣相沉積或等離子體刻蝕方式制備兩套交錯的結構在紅外探測器芯片的紅外輻射入射面。

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