[實用新型]具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件有效

申請號：	201420171024.9	申請日：	2014-04-10
公開（公告）號：	CN203950128U	公開（公告）日：	2014-11-19
發明（設計）人：	許磊;鄭林華;劉建勇;王光池;王曉東;齊步坤	申請（專利權）人：	中國電子科技集團公司第三十八研究所
主分類號：	G04F5/14	分類號：	G04F5/14;B81B1/00;B81C1/00;B81C3/00
代理公司：	合肥金安專利事務所 34114	代理人：	金惠貞
地址：	230088 安徽***	國省代碼：	安徽;34
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	具有反射微型原子體腔器件
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件，所述原子氣體腔器件具有典型的三明治結構，其特征在于：中間層為中部具有通孔的硅片；頂層玻璃和底層玻璃結構相同，均為一側面具有反射鏡的玻璃，且頂層玻璃上的上反射鏡和底層玻璃上的下反射鏡均位于所述通孔內；所述通孔的橫截面為四邊形，且通孔的橫向寬度W大于硅片的厚度H。?

2.如權利要求1所述的具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件，其特征在于：所述通孔的橫截面為矩形或倒梯形；當通孔的橫截面為倒梯形時，所述通孔的橫截面的寬度W為通孔底面的寬度。?

3.如權利要求1或2所述的具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件，其特征在于：所述通孔若為干法刻蝕制作，硅片的類型不受限制，形成的通孔的側壁晶向也不受限制；通孔若為濕法腐蝕形成，硅片的類型為(100)型的硅片，且腐蝕形成的通孔的側壁與底層玻璃的夾角為54.7度。?

4.如權利要求1或2所述的具有雙反射鏡的微型原子氣體腔器件，其特征在于：通孔的橫向寬度W為硅片的厚度H的兩倍以上。?

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國電子科技集團公司第三十八研究所，未經中國電子科技集團公司第三十八研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420171024.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。