[實用新型]一種位置可調的硅片片盒裝載裝置

有效

• 申請號: 201420169489.0
• 申請日: 2014-04-09
• 公開（公告）號: CN203794122U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 任大清;戴峻
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G49/07
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種位置可調的硅片片盒裝載裝置，設置在半導體工藝機臺的硅片片盒接口前方、硅片片盒搬運小車下方的對應位置，所述硅片片盒裝載裝置包括設于底座上方的硅片片盒裝載平臺，所述裝載平臺下方設有所述裝載平臺的驅動機構，其特征在于，所述驅動機構包括步進電機，所述步進電機的電機軸連接驅動絲桿，所述絲桿裝有與之配合的驅動滑塊，所述滑塊與所述裝載平臺的底面相固接，位于所述驅動滑塊兩側的所述絲桿兩端裝有絲桿支架，所述步進電機通過所述滑塊帶動所述裝載平臺在設定的所述硅片片盒的裝載位置與所述硅片片盒的接口位置之間作來回直線移動，所述硅片片盒的裝載位置與所述步進電機的步進脈沖數相對應。

2.如權利要求1所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述絲桿支架之間的距離大于所述硅片片盒裝載位置與所述硅片片盒接口位置之間的距離。

3.如權利要求1所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述裝載平臺的底面與所述絲桿支架的頂面之間裝有相配合的滑軌機構。

4.如權利要求3所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述滑軌機構的安裝方向與所述驅動絲桿的軸向一致。

5.如權利要求3或4所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述滑軌機構的數量為1副。

6.如權利要求3或4所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述滑軌機構的數量為2副。

7.如權利要求1所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述驅動機構包括驅動氣缸，所述驅動氣缸設有驅動桿，所述驅動桿的前端裝有驅動滑塊，所述驅動滑塊與所述裝載平臺的底面相固接，位于所述驅動滑塊移動方向的外側位置設有擋塊，所述擋塊裝有沿所述驅動滑塊移動方向的調節螺釘，所述驅動氣缸通過所述驅動滑塊帶動所述裝載平臺在設定的所述硅片片盒的裝載位置與所述硅片片盒的接口位置之間作來回直線移動，所述硅片片盒的裝載位置與所述調節螺釘的調節位置相對應。

8.如權利要求7所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述調節螺釘與所述驅動桿同心設置。

9.如權利要求7所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述裝載平臺的底面與所述驅動氣缸的頂面和所述擋塊的頂面之間裝有相配合的滑軌機構，所述滑軌機構的安裝方向與所述驅動桿的軸向一致。

10.如權利要求9所述的硅片片盒裝載裝置，其特征在于，所述滑軌機構的數量為1～2副。