[實用新型]鼓風式溫控手臂

有效

• 申請號: 202220762495.1
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN217543657U
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 吳雷雷;周一峰;吳長春
• 申請（專利權）人: 上海昂瑞創新電子技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/40
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 梁棟國

一種鼓風式溫控手臂，所述鼓風式溫控手臂包括：所述鼓風式溫控手臂包括：底部手臂，用于支撐晶圓，溫控單元，其被配置為將加熱的空氣提供到晶圓，以控制晶圓溫度的下降速度，連接桿，將所述底部手臂與所述溫控單元耦合連接。

技術領域

本公開總體上涉及涂膠顯影機設備中的傳送系統，特別的，涉及在涂膠顯影機設備中在熱板和冷板之間傳送的傳送手臂。

背景技術

在涂膠顯影工藝時，工藝過程包括烘烤和冷卻，這意味著需要將晶圓從熱板直接轉移到冷板。一般地，熱板的溫度大于100℃，甚至接近150℃，并且冷板的溫度一般接近室溫23℃。因此，對于一些對溫度變化敏感的材料，將晶圓直接從熱板轉移到冷板進行冷卻可能會因為溫度變化速率過快而引起晶圓破裂。因此，對于由這些材料構成的晶圓，需要能夠使溫度下降速率降低的裝置。

實用新型內容

技術問題

在涂膠顯影過程中，晶圓需要通過陶瓷手臂從100℃以上的熱板轉移到室溫左右的冷板進行冷卻，由于陶瓷手臂也是處于室溫狀態(例如，為23℃) 這使得鉭酸鋰晶圓從熱板到冷板的傳送過程中，與鉭酸鋰晶圓直接接觸的手臂、腔體空氣、冷板都為23℃左右，溫度與加熱后的溫度相差教大，這可能使對溫度變化敏感的晶圓破裂，因此需要減少溫度差，降低溫度變化速率。

解決方案

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，通過增加溫控手臂，把溫度控制在介于高溫和低溫之間，減緩從冷板到熱板鉭酸鋰晶圓的降溫速率，使其平緩的從高溫到低溫變化。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，所述鼓風式溫控手臂包括：底部手臂，用于支撐晶圓，溫控單元，其被配置為將加熱的空氣提供到晶圓，以控制晶圓溫度的下降速度，連接桿，將所述底部手臂與所述溫控單元耦合連接。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述底部手臂包括陶瓷手臂、橡膠手臂或者金屬手臂中的任何一種。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述晶圓包括鉭酸鋰晶圓。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述溫控單元包括進風口、導流單元、加熱單元以及溫控單元外殼。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述加熱單元包括圓柱體或者錐型加熱棒中的任何一種。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述加熱單元被配置為溫度可控。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述進風口包括N個進風口，以將壓縮空氣輸送到所述加熱單元，其中，N為自然數。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述導流單元包括旋轉扇葉，以將加熱的空氣輸送到所述晶圓。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述溫控單元外殼的下表面具有開口，以將經過加熱的空氣輸送到所述晶圓。

根據本公開的實施例，提出了一種鼓風式溫控手臂，其中，所述溫控單元被配置為在熱板溫度和冷板溫度之間提供M個的溫度臺階，其中，M為自然數。

技術效果

本公開通過增加溫控手臂，把溫度控制在介于高溫和低溫之間，減緩晶圓從熱板到冷板的降溫速率，使其平緩的從高溫到低溫變化。此外，通過調節鉭酸鋰晶圓從熱板取出后的溫度變化范圍，可以防止鉭酸鋰晶圓因為溫度由大于100℃高溫到23℃低溫的突然降溫而導致的碎裂。

附圖說明

從以下結合附圖的描述中，本公開的特定實施例的上述和其他方面、特征和優點將變得更加明顯，其中：

圖1示出了根據本公開的實施例的鼓風式溫控手臂的俯視圖。