[實用新型]電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置

有效

• 申請號: 201420163287.5
• 申請日: 2014-04-04
• 公開（公告）號: CN203738066U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 曲興旺;郭鐘寧;何俊峰;連海山
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B23B41/14
• 分類號: B23B41/14
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.一種電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于包括有立式滑塊（1）、微細超聲主軸（2）、微細超聲主軸電源發生器及控制面板（3）、電泳輔助電源（4）、微細超聲平臺電源發生器及控制面板（5）、運動控制系統（6）、微三維運動平臺（7）、微細超聲工作平臺（8）、鉆頭（10）、超微磨粒（12）、電泳輔助電極（13）、工作液槽（14），?鉆頭（10）通過夾具安裝在可旋轉的微細超聲主軸（2）上，微細超聲主軸（2）通過夾具使鉆頭（10）與微細超聲主軸（2）緊密相連，微細超聲主軸（2）安裝在立式滑臺（1）上，立式滑臺（1）能夠驅動微細超聲主軸（2）上下運動以便于加工時進行粗對刀，微細超聲工作平臺（8）安裝在工作液槽（14）中，工件（9）裝設在微細超聲工作平臺（8）上，且浸沒于工作液槽（14）的磨料工作液中，鉆頭（10）的加工部分也同樣浸沒于工作液槽（14）的磨料工作液中，工作液槽（14）安裝于微三維運動平臺（7）上，運動控制系統（6）控制微三維運動平臺（7）在X、Y、Z軸三個方向運動，且微細超聲平臺電源發生器及控制面板（5）與微細超聲工作平臺（8）連接，微細超聲主軸（2）與微細超聲主軸電源發生器及控制面板（3）連接，電泳輔助電源（4）的陽極與鉆頭（10）連接，電泳輔助電源（4）的陰極與電泳輔助電極（13）連接，電泳輔助電極（13）通過電泳輔助夾具（11）固定在工作液槽（14）上，在鉆頭（10）與電泳輔助電極（13）之間形成輔助電場，使工作液中的超微磨粒（12）在電場力的作用下吸附到鉆頭（10）附近或直接附著在鉆頭（10）的刀刃上。

2.根據權利要求1所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述微細超聲主軸（2）及微細超聲工作平臺（8）分別可以在微細超聲主軸電源發生器及控制面板（3）和微細超聲平臺電源發生器及控制面板（5）的控制下帶動鉆頭（10）和工件（9）產生超聲振動，鉆頭（10）和工件（9）能同時產生超聲振動，或獨立產生超聲振動。

3.根據權利要求1所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述?鉆頭（10）為普通微細加工所用微鉆頭。

4.根據權利要求1所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述電泳輔助電源（4）為可調直流電源。

5.根據權利要求1所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述工件（9）為金屬或非金屬難加工材料。

6.根據權利要求1至5任一項所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述電泳輔助電極（13）通過電泳輔助夾具（11）固定在工作液槽（14）上，通過調整電泳輔助夾具（11）的位置使電泳輔助電極（13）把鉆頭（10）環繞在其中。

7.根據權利要求6所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述工作液槽（14）通過輔助夾具（15）安裝于微三維運動平臺（7）上。

8.根據權利要求7所述的電泳輔助超聲機械復合微細鉆削加工裝置，其特征在于上述微三維平臺（7）的最小分辨率都為0.1微米。