[實用新型]壓力烘烤設備

有效

• 申請號: 201420159700.0
• 申請日: 2014-04-03
• 公開（公告）號: CN203787394U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 賴智忠
• 申請（專利權）人: 志圣工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京泰吉知識產權代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍

技術領域

本實用新型涉及一種烘烤設備，特別是涉及一種借由氣體循環裝置的風扇驅使烘烤腔室內的氣體流動的壓力烘烤設備。

背景技術

參閱圖1，中國臺灣專利第M332262號專利案公開了一種半導體封裝加工之除泡烤箱裝置，其包括一腔體11、一驅動馬達承置腔室12，及一結合于腔體11與驅動馬達承置腔室12之間的連通腔道13。腔體11形成一容置空間111用以供一風扇14設置。驅動馬達承置腔室12形成一容置空間121用以供一驅動馬達15設置，驅動馬達15外部繞設有一銅管16，銅管16可連結一水供應源以冷卻驅動馬達15的溫度。連通腔道13形成一容置空間131，容置空間131連通于腔體11的容置空間111與驅動馬達承置腔室12的容置空間121之間，一傳動軸17穿設于容置空間131內且兩端分別連接于風扇14及驅動馬達15，借此，驅動馬達15可通過傳動軸17帶動風扇14旋轉，使腔體11的容置空間111內的氣體流動。

由于連通腔道13的容置空間131連通于容置空間111與容置空間121之間，因此，驅動馬達15運轉時所產生的粉塵易經由連通腔道13流通至容置空間111內，進而導致腔體11的容置空間111內的潔凈度降低。再者，由于銅管16內所流動的水會持續地將驅動馬達15所產生的熱能帶走，因此，腔體11的容置空間111內的熱能會經由連通腔道13的容置空間131朝驅動馬達承置腔室12的容置空間121方向流動及擴散，進而導致腔體11的容置空間111內的熱能損失。

發明內容

本實用新型的一目的，在于提供一種壓力烘烤設備，借由氣密件阻斷連接裝置的通孔以防止烘烤腔室與承載腔室相連通，能防止承載腔室內的驅動馬達運轉時所產生的粉塵流通至烘烤腔室內，以保持烘烤腔室內的潔凈度。

本實用新型的另一目的，在于提供一種壓力烘烤設備，借由氣密件阻斷連接裝置的通孔以防止烘烤腔室與承載腔室相連通，能防止烘烤腔室內的高熱氣體直接經由通孔流通至承載腔室內，以降低烘烤腔室內的熱能損失。

本實用新型的又一目的，在于提供一種壓力烘烤設備，借由壓力控制裝置可分別獨立地控制烘烤腔室內的壓力以及承載腔室內的壓力，使得氣密件能處在微壓力差的工作環境下，借此，能提升氣密件的使用壽命。

本實用新型的目的及解決背景技術問題是采用以下技術方案來實現的，依據本實用新型提出的壓力烘烤設備，包含一烤箱、一承載箱、一連接裝置、一氣體循環裝置，及一壓力控制裝置，該烤箱形成一烘烤腔室，該承載箱形成一承載腔室，該連接裝置連接于該烤箱與該承載箱之間，該連接裝置形成有一連通于該烘烤腔室與該承載腔室之間的通孔，該氣體循環裝置包括一設置于該烘烤腔室內的風扇、一設置于該承載腔室內的驅動馬達，及一穿設于該通孔內的傳動軸，該傳動軸的兩相反端分別連接于該風扇與該驅動馬達，該驅動馬達可通過該傳動軸帶動該風扇旋轉，該壓力控制裝置包括一操控模塊，及一設置于該操控模塊與該烤箱之間用以控制該烘烤腔室內的壓力的第一壓力控制模塊。

該壓力烘烤設備還包含一氣密件，該氣密件套設于該傳動軸上用以阻斷該通孔，以防止該烘烤腔室經由該通孔與該承載腔室相連通，該壓力控制裝置還包括一設置于該操控模塊與該承載箱之間用以控制該承載腔室內的壓力的第二壓力控制模塊。

該連接裝置的通孔包括一連通于該烘烤腔室的小孔徑部，及一連通于該承載腔室的大孔徑部，該大孔徑部的孔徑大于該小孔徑部的孔徑，該連接裝置包括一位于該小孔徑部與該大孔徑部之間的肩部，該氣密件為一設置于該大孔徑部內并抵靠于該肩部與該驅動馬達之間的軸封。

該驅動馬達包含一與該傳動軸連接的馬達本體，及多片環設于該馬達本體外表面且彼此相間隔的散熱片。

該承載箱包括一端壁、一形成于該端壁外周緣的圍繞壁，及一設置于該圍繞壁外壁面的導流件，該端壁與該圍繞壁共同界定出該承載腔室，該圍繞壁與該導流件共同界定一用以供液體流通的流道。

該導流件具有一與該圍繞壁外壁面相間隔的環形壁，及兩個分別形成于該環形壁相反端并且連接于該圍繞壁外壁面的連接端壁，該環形壁相反側分別形成一與該流道相連通的入液口，及一與該流道相連通的排液口。

該烤箱包括一弧形端壁，該連接裝置還包括一接合塊，一連接板，及一接合管，該接合塊具有一焊接于該弧形端壁并與該弧形端壁形狀相配合的弧形連接面，及一相反于該弧形連接面的直立端面，該連接板焊接于該直立端面上，該接合管具有一鎖固于該連接板的第一環部，及一鎖固于該承載箱的第二環部，該接合塊、該連接板及該接合管共同界定出該小孔徑部，該接合管界定出該大孔徑部與該肩部。