[實用新型]一種基于超磁致伸縮薄膜驅動器的微泵

有效

• 申請號: 201420156261.8
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN203742955U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 王傳禮;寇旗旗;鄧海順;黃坤;張輝
• 申請（專利權）人: 安徽理工大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 合肥順超知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34120
• 代理人: 周發軍

1.一種基于超磁致伸縮薄膜驅動器的微泵，其特征在于：包括泵體、將該泵體分成上、下泵體的基片，所述下泵體上設有進液口、出液口，所述下泵體內設有閥腔體，所述上泵體的上表面設有平面螺旋線圈，該平面螺旋線圈與外部電源電連接；所述基片和所述下泵體形成液體腔，該液體腔與所述進液口、閥腔體連通，所述閥腔體與所述出液口連通，所述液體腔與所述進液口的連接處設有單向進液膜，所述液體腔與所述閥腔體連接處設有單向出液膜；所述基片的上表面設有正磁致伸縮效應薄膜，下表面設有逆磁致伸縮效應薄膜。

2.根據權利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜驅動器的微泵，其特征在于：所述正、逆磁致伸縮效應薄膜均有2片，分布于所述基片兩端。

3.根據權利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜驅動器的微泵，其特征在于：所述單向進液膜的一端粘接在所述液體腔內壁上形成懸臂梁結構，所述單向出液膜的一端粘接在所述閥腔體內壁上形成懸臂梁結構。

4.根據權利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜驅動器的微泵，其特征在于：所述平面螺旋線圈上覆蓋有絕緣保護層。