[實用新型]防止真空泵污染的重量法物理吸附儀有效
| 申請號： | 201420156173.8 | 申請日： | 2014-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN203758867U | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發明（設計）人： | 柳劍峰 | 申請（專利權）人： | 貝士德儀器科技（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G01N5/02 | 分類號： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;付久春 |
| 地址： | 100193 北京市海淀區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防止 真空泵 污染 重量 物理 吸附 | ||
【權利要求書】：
1.一種防止真空泵污染的重量法物理吸附儀，其特征在于，包括：
測試裝置、真空泵、閥門、管路和冷阱裝置；其中，
所述真空泵經所述冷阱裝置、閥門、管路與所述測試裝置連通。
2.根據權利要求1所述的防止真空泵污染的重量法物理吸附儀，其特征在于，所述冷阱裝置采用冰浴冷阱裝置或液氮浴冷阱裝置。
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