[實(shí)用新型]一種在線鋸裝置中使用的滑輪及具有該滑輪的線鋸裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420155000.4
• 申請(qǐng)日: 2014-04-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204076540U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 理查·馬爾切利亞;漢斯·溫特;魯希卡什·帕蒂爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

技術(shù)領(lǐng)域

本文論述的實(shí)施方式大體涉及用于線鋸(wire?saw)裝置中的具有輪箍(tire)的滑輪。?

背景技術(shù)

線鋸裝置存在用于從一件硬質(zhì)材料(諸如硅、石英或鍺)切割塊狀物或磚狀物(諸如半導(dǎo)體基板的薄片)。在此類(lèi)裝置中，伸展的線材由繞線管(spool)供應(yīng)并且由滑輪穿過(guò)線材網(wǎng)隔室被導(dǎo)向并拉緊。可用于鋸切的線材一般配備有研磨材料。研磨材料可采用漿料(slurry)形式并且漿料可在線材接觸待切割的材料之前不久提供。作為另一種選擇，研磨劑可以涂層形式提供在線材上。涂層一般可包含硬顆粒，諸如金剛石顆粒。硬顆粒可嵌入線材上的涂層中。在此情況下，研磨劑可穩(wěn)固地耦接至線材。?

一般來(lái)說(shuō)，存在以下傾向：使用薄線材以減少切割厚度并且減少切割處理期間浪費(fèi)的材料的量。如之前提到的，可使用金剛石線材或涂覆金剛石的線材并且所述線材可以是非常薄的。薄線材一般在與鋸切有關(guān)的高應(yīng)變下更容易損壞并且可能容易斷裂。此外，增加切割速度用于改善線鋸裝置的產(chǎn)量通常是可取的。給定時(shí)間量?jī)?nèi)移動(dòng)一件材料穿過(guò)線材網(wǎng)的最大速度和最大有效線材網(wǎng)隔室可受到數(shù)個(gè)因素的影響，包括線材速度、待鋸切的材料的硬度、干擾影響、期望的精確度和類(lèi)似因素。當(dāng)速度增加時(shí)，使線鋸裝置停止工作變得更困難。因此，避免線材在高鋸切速度下?lián)p壞或斷裂是關(guān)鍵的。?

線材鋸切裝置中的滑輪一般可具有輪箍，線材沿著所述輪箍在鋸切裝置中移動(dòng)。如之前提到的，線材可為有研磨作用的，所述線材可導(dǎo)致輪箍磨損并且需要更換滑輪上的輪箍。更換輪箍可為昂貴的、時(shí)間密集的工藝，所述工藝導(dǎo)致線鋸裝置的停工時(shí)間(down?time)。所屬技術(shù)領(lǐng)域中需要的是容易更換的輪箍，所述輪箍為成本有效的并且減少線鋸裝置停工時(shí)間的量，同時(shí)降低購(gòu)置(ownership)成本。?

發(fā)明內(nèi)容

本文論述的實(shí)施方式大體涉及用于線鋸系統(tǒng)中的具有輪箍的滑輪。?

在一個(gè)實(shí)施方式中，提供用于線鋸裝置中的滑輪。滑輪包含盤(pán)狀底座構(gòu)件、輪箍和蓋板，所述構(gòu)件具有環(huán)形伸出部和中心軸接收開(kāi)口，所述輪箍具有環(huán)形形狀并且設(shè)置在環(huán)形伸出部上，所述蓋板耦接至底座構(gòu)件并且使輪箍固定在蓋板與底座構(gòu)件之間。?

在另一個(gè)實(shí)施方式中，提供線鋸裝置。線鋸裝置包含切割線材、工件保持器和滑輪，所述工件保持器配置為當(dāng)線材切割工件時(shí)保持所述工件，所述滑輪配置為導(dǎo)向線材。滑輪包含盤(pán)狀底座構(gòu)件、輪箍和蓋板，所述構(gòu)件具有環(huán)形伸出部和中心軸接收開(kāi)口，所述輪箍具有環(huán)形形狀并且設(shè)置在環(huán)形伸出部上，所述蓋板耦接至底座構(gòu)件并且使輪箍固定在蓋板與底座構(gòu)件之間。?

在又一個(gè)實(shí)施方式中，提供用于更換滑輪的輪箍的方法。所述方法包含以下步驟：從滑輪的底座移除蓋而無(wú)需從軸移除底座，從底座移除用過(guò)的輪箍，在底座上安裝新的輪箍并且把蓋放回原位以將輪箍固定至底座。?

除了上述實(shí)施方式，本文披露了其它實(shí)施方式。所述滑輪進(jìn)一步的特征可在于所述滑輪包含滑輪支撐件，所述滑輪支撐件配置為夾持軸或軸承。所述滑輪支撐件可沿輪箍徑向向內(nèi)并且可耦接至底座構(gòu)件。所述輪箍可壓配合至環(huán)形伸出部并且所述輪箍可滑動(dòng)配合環(huán)形伸出部。所述底座構(gòu)件進(jìn)一步的特征可在于所述底座構(gòu)件包含定位銷(xiāo)，所述定位銷(xiāo)與輪箍嚙合。所述環(huán)形伸出部可具有面向輪箍的紋理表面，并且所述輪箍的特征可在于所述輪箍包含有紋理的外徑。所述輪箍可為裂開(kāi)的，并且所述輪箍的特征可在于所述輪箍包含聚氨酯。緊固件可將蓋板耦接至底座構(gòu)件并且緊固件可延伸穿過(guò)孔，所述孔形成為穿過(guò)所述輪箍，并且所述輪箍可夾持在蓋板與底座構(gòu)件之間。多個(gè)緊固件可將蓋板耦接至底座構(gòu)件，并且所述緊固件可被設(shè)置成沿所述輪箍徑向向內(nèi)。底座構(gòu)件的材質(zhì)可為鋁或不銹鋼。底座構(gòu)件的材質(zhì)還可以是鋁和不銹鋼的合金。蓋板的材質(zhì)可為鋁或不銹鋼。蓋板的材質(zhì)還可以是鋁和不銹鋼的合金。所述輪箍的特征可在于所述輪箍包含聚合物材料。所述輪箍的圖案化區(qū)域可延伸超過(guò)底座構(gòu)件的外周。?

附圖說(shuō)明

可參照實(shí)施方式(一些實(shí)施方式描繪于附圖中)來(lái)詳細(xì)理解本發(fā)明的上述特征結(jié)構(gòu)以及上文簡(jiǎn)要概述的本發(fā)明的更特定的描述。然而，應(yīng)注意，附圖僅圖示本發(fā)明的典型實(shí)施方式，并且因此附圖不應(yīng)被視為對(duì)本發(fā)明范圍的限制，因?yàn)楸景l(fā)明可允許其他等效的實(shí)施方式。?

圖1為具有適用于導(dǎo)向線材的多個(gè)滑輪的線鋸裝置的示意性俯視圖。?

圖2為可用于圖1的線鋸裝置中的滑輪的透視圖。?

圖3為圖2的滑輪的示意性分解圖。?

圖4為可用于線鋸裝置中的滑輪的另一個(gè)實(shí)施方式的透視圖。?

圖5為圖4的滑輪的示意性分解圖。?