[實用新型]一種模擬深空環境中電子器件實驗的裝置

有效

• 申請號: 201420154464.3
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN203786224U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 曹江利;李云雙;姚文清;嚴楷
• 申請（專利權）人: 北京科技大學
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01N33/00
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 皋吉甫

1.一種模擬深空環境中電子器件實驗的裝置，包括一個真空腔體（1），其特征在于，所述真空腔體（1）內部設有樣品臺（4），所述樣品臺（4）設置有加熱元件及固定元件，樣品臺（4）固定在真空腔體（1）側壁的樣品法蘭口（5）上；

所述真空腔體（1）內部頂端設有氘燈（3），同時真空腔體（1）頂部設有溫度控制接口，真空腔體（1）具有樣品法蘭口（5）的一側下部依次設有直流電場控制接口與氣氛控制接口，真空腔體（1）另一側設有真空控制接口與真空規（17），底部設有真空管道（18）；

其中溫度控制接口依次連接加熱變壓器（11）與溫度控制顯示器（12），直流電場控制接口連接直流電場控制器（6），氣氛控制接口連接氣氛瓶（8），真空控制接口依次連接分子泵（14）與機械泵（15），真空管道（18）連接由濺射離子泵和鈦升華泵構成的組合泵（19）。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述加熱元件為熱電阻絲（24），固定元件為樣品固定桿（21），所述樣品固定桿（21）上設置有金屬卡片（25）。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氘燈（3）通過氘燈調整桿（2）固定在真空腔體（1）內部頂端上，氘燈電源（10）通過導線連接在氘燈（3）上，導線經由氘燈法蘭接口（9）連接在氘燈（3）上，所述氘燈電源（10）置于真空腔體外部。

4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述加熱變壓器（11）通過溫控線路（23）與測溫線路（22）兩根線路連接在熱電阻絲（24）上。

5.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述直流電場控制器（6）通過陶瓷封裝導線（20）連接在樣品固定桿（21）上。

6.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述氣氛瓶（8）通過氣體管道連接在氣氛控制接口上，在氣體管道上設有氣氛針閥（7）。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述在分子泵（14）通過手動擋板閥（13）連接在真空控制接口上。

8.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述真空腔體（1）側壁上還設有觀察窗（16），所述觀察窗（16）與樣品臺（4）高度一致。