[實用新型]一種Z軸電容式微機械加速度計

有效

• 申請號: 201420151300.5
• 申請日: 2014-04-01
• 公開（公告）號: CN203825034U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 劉恒;于步云;孟瑞麗;許辰;王冕
• 申請（專利權）人: 南京信息工程大學
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 朱小兵

1.一種Z軸電容式微機械加速度計，包括玻璃基座、鍵合在玻璃基座上的結構層以及設置于玻璃基座上的金電極層，其特征在于：所述結構層包括一個質量塊、附著在所述質量塊上的梳齒、設置于所述質量塊上且用于支撐質量塊懸空的折疊梁、與所述折疊梁相連的錨點區、一端通過鍵合固定在玻璃基座上的固定檢測梳齒，其中當加速度計受到Z軸方向的加速度時，所述質量塊、梳齒及折疊梁形成可動結構，且所述固定檢測梳齒和可動結構中梳齒形成檢測電容。

2.根據權利要求1所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述梳齒、折疊梁、錨點區、固定檢測梳齒均為四組且分別布置于質量塊四周。

3.根據權利要求2所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述梳齒、折疊梁、錨點區、固定檢測梳齒均關于質量塊對稱設置。

4.根據權利要求1或2或3所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述折疊梁采用蟹形折疊梁。

5.根據權利要求4所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述每個折疊梁由兩個蟹形折疊梁對稱設置構成。

6.根據權利要求5所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述質量塊上均勻布置用于減小質量塊所受擠壓阻尼的開孔。

7.根據權利要求6所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述固定檢測梳齒包括通過鍵合固定在玻璃基座上的固定桿、連接在固定桿一側的連接梁以及附著在連接梁上的固定梳齒，其中所述固定梳齒與可動結構中的梳齒之間形成檢測電容。

8.根據權利要求?7所述Z軸電容式微機械加速度計，其特征在于：所述金電極層包括用于連接固定檢測梳齒提供電信號的第一電極和用于連接錨點區為可動結構提供電信號的第二電極。