[實用新型]一種微機械RF開關

有效

• 申請號: 201420150122.4
• 申請日: 2014-03-31
• 公開（公告）號: CN203910685U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 楊俊民
• 申請（專利權）人: 蘇州錕恩電子科技有限公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本設計涉及一種微機械RF開關，屬于射頻電子技術領域。

背景技術

????微機械RF開關通常的驅動方法有靜電驅動、壓電驅動、電磁驅動及熱驅動等。靜電驅動利用帶電體之間的靜電力實現，是MEMS開關中最簡單和最常

用的驅動方式，具有極低的功耗。靜電驅動的接觸式MEMS開關主要包括縱向和橫向兩種結構。縱向接觸是指開關動作方向垂直于襯底平面，而橫向接觸是指開關動作方向平行于襯底平面。橫向結構在于電容極板面積小，雖然阻尼減小，但不易獲得大的驅動力，開關速度不高，需要進行設計優化。

發明內容

針對現有技術的不足，本設計的目的是提供一種微機械RF開關，本文采用靜電驅動的橫向開關結構，利用平板電容的靜電吸引力和金屬彈簧的彈性力，實現開關的通斷。

為實現上述目的，本設計是通過以下技術手段來實現的：

????一種微機械RF開關，其特征在于：包括電容、彈簧、絕緣塊、觸頭、RF信號線，其中電容由活動極板和固定極板構成；所述彈簧一端與固定點連接，一端與活動極板連接，所述觸頭位于活動極板下方，觸頭與活動極板之間通過絕緣塊隔離，所述固定極板位于活動極板與觸頭之間，所述觸頭下方設有RF信號線。

????優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：在開所述彈簧在所述電容的靜電力作用下，可產生拉長，使所述觸頭發生平動，觸頭與RF信號線接觸，實現RF信號線的連通。

????優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：所述彈簧可在彈簧恢復力的作用下，可產生收縮，使觸頭與RF信號線分離。

????優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：所述電容、彈簧、觸頭、RF信號線金屬部分為Au，所述絕緣塊采用用SU8光刻膠。

本發明的有益效果是：本設計采用靜電驅動的開關結構，利用電容的靜電吸引力和金屬彈簧的彈性力，實現開關的通斷。具有快速、低功耗的優點，進一步提高開關速率?。

附圖說明

圖1為本設計組成結構示意圖。

附圖標號的含義如下：1固定點，2彈簧，3絕緣塊，4觸頭，5RF信號線，6-1固定極板，6-2活動極板。

具體實施方式

下面將結合說明書附圖，對設計作進一步的說明。

如圖1所示，一種微機械RF開關，其特征在于：包括電容6、彈簧2、絕緣塊3、觸頭4、RF信號線5，其中電容由活動極板6-2和固定極板6-1構成；所述彈簧2一端與固定點1連接，一端與活動極板6-2連接，所述觸頭4位于活動極板6-2下方，觸頭4與活動極板6-2之間通過絕緣塊3隔離，所述固定極板6-1位于活動極板6-2與觸頭4之間，所述觸頭4下方設有RF信號線5。

?????在開關閉合時，在平板電容6的靜電力作用下，可動結構發生橫向平

動，觸頭4與RF信號線5接觸，實現了RF信號線5的連通；當開關斷開時，在彈簧2恢復力的作用下，觸頭4與RF信號線5分離，實現了電流的關斷。

????優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：在開所述彈簧2在所述電容6的靜電力作用下，可產生拉長，使所述觸頭4發生平動，觸頭4與RF信號線5接觸，實現RF信號線5的連通。

????優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：所述彈簧2可在彈簧恢復力的作用下，可產生收縮，使觸頭4與RF信號線5分離。

優選的，所述的一種微機械RF開關，其特征在于：所述電容6、彈簧2、觸頭4、RF信號線5金屬部分為Au，所述絕緣塊3采用用SU8光刻膠。

SU8光刻膠具有良好的機械強度和絕緣特性。

以上顯示和描述了本設計的基本原理、主要特征及優點。本行業的技術人員應該了解，本設計不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本設計的原理，在不脫離本設計精神和范圍的前提下，本設計還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本設計范圍內。本設計要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。