[實用新型]一種金屬有機化合物的解配分離裝置

有效

• 申請號: 201420149246.0
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN203829998U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 陳之善;趙愛婷;朱劉
• 申請（專利權）人: 清遠先導材料有限公司
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01J4/00;C07F5/00;C07F5/06;C07F17/00;C07F3/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

技術領域

本實用新型涉及解配分離裝置技術領域，尤其涉及一種金屬有機化合物的解配分離裝置。

背景技術

高純金屬有機化合物，或叫化合物半導體微結構材料，是先進的金屬有機化學氣相沉積（簡稱MOCVD）、金屬有機分子束外延（簡稱MOMBE）等技術生長半導體微結構材料的支撐材料，其優異的電學、光學和磁學等性能，可將半導體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。目前常用的高純金屬有機化合物主要三甲基鎵、三乙基鎵、三甲基銦、三乙基銦、二甲基乙基銦、三甲基鋁、二茂鎂、二乙基鋅等烷基金屬化合物。

由于金屬有機化合物的純度對后期半導體器件的性能影響十分巨大，因此金屬有機化合物的純化一直是一項非常關鍵的技術。現有技術中采用的是將由解配釜解配出來的粗制金屬有機化合物直接到精餾塔精餾，粗制的金屬有機化合物夾雜部分配體，這大大加大了精餾的難度，針對這一不足，該實用新型設計了一種新的解配分離裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種金屬有機化合物的分離裝置，采用本實用新型提供的分離裝置得到的金屬有機化合物具有較高的純度。

本實用新型提供了一種金屬有機化合物的解配分離裝置，包括解配釜；

進料口與所述解配釜的出料口相連的分離柱；

所述分離柱設置于套管中，所述套管中設置有冷凍媒介。

優選的，所述套管的側壁頂端設置有冷凍媒介進料口，所述套管的側壁底端設置有冷凍媒介出料口。

優選的，所述冷凍媒介為冷凍煤油。

優選的，所述分離柱內填充有非規整填料；

所述非規整填料為不繡鋼θ環填料；

所述非規整填料的尺寸為3mm×3mm～7mm×7mm。

優選的，所述非規整填料為316L不銹鋼θ環填料。

優選的，所述非規整填料的比表面積為1000m²/m³～2300m²/m³；

所述非規整填料的堆積密度為260kg/L～520kg/L。

優選的，所述非規整填料在所述分離柱中的填充體積比為70%～90%。

優選的，還包括進料口與所述分離柱的出料口相連的金屬有機化合物接收裝置；

所述金屬有機化合物接收裝置設置于冷凍裝置中。

優選的，所述冷凍裝置包括杜瓦罐和設置于所述杜瓦罐中的液氮。

優選的，還包括進料口與所述金屬有機化合物接收裝置的出料口相連的尾氣吸收裝置。

本實用新型提供了一種金屬有機化合物的解配分離裝置，包括解配釜；進料口與所述解配釜的出料口相連的分離柱；所述分離柱設置于套管中，所述套管中設置有冷凍媒介。本實用新型提供的金屬有機化合物的解配分離裝置，在解配釜的出料口處設置有與所述解配釜相連的分離柱，且所述分離柱外壁設置有套管，所述套管中設置有冷凍媒介，從而使得從解配釜解配出來的低沸點的金屬有機化合物夾帶部分配體溢出至分離柱，物料經過分離柱的分離后，重組分的配體被冷凝下來回流至解配釜，氣態的金屬有機化合物經分離柱出口后直接被接收。采用本實用新型提供的解配分離裝置對金屬有機化合物進行分離時，得到的金屬有機化合物中幾乎不含有金屬有機化合物的配體，從而使得到的金屬有機化合物具有較高的純度，且產品穩定。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例提供的金屬有機化合物的解配分離裝置的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型提供了一種金屬有機化合物的解配分離裝置，包括解配釜；

進料口與所述解配釜的出料口相連的分離柱；

所述分離柱設置于套管中，所述套管中設置有冷凍媒介。

采用本實用新型提供的解配分離裝置對金屬有機化合物進行分離時，重組分的配體被冷凝下來回流至解配釜，氣態的金屬有機化合物經分離柱出口后直接被接收。得到的金屬有機化合物中幾乎不含有金屬有機化合物的配體，從而使得到的金屬有機化合物具有較高的純度，且產品穩定。

參見圖1，圖1為本實用新型實施例提供的金屬有機化合物的解配分離裝置的結構示意圖，其中1為解配釜，2為流量調節閥，3為套管，4為分離柱，5為杜瓦罐，6為金屬有機化合物接收裝置，7為真空泵，8為尾氣吸收裝置。