[實用新型]MEMS諧振器有效
| 申請號： | 201420148846.5 | 申請日： | 2014-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN204216861U | 公開（公告）日： | 2015-03-18 |
| 發明（設計）人： | 何昭文 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/24 | 分類號： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 諧振器 | ||
1.一種MEMS諧振器，其特征在于，包括：錨部；圍繞所述錨部，并且與所述錨部連接的質量塊，在所述質量塊中與所述錨部連接的位置處開設有多個孔徑，所述錨部、所述質量塊以及所述孔徑均為軸對稱結構；及圍繞所述質量塊，并且與所述質量塊具有一定間隙的電極。
2.如權利要求1所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述錨部為軸對稱結構。
3.如權利要求2所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述錨部的形狀為圓形、正方形、長方形或者菱形。
4.如權利要求2所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述質量塊為軸對稱結構。
5.如權利要求4所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述質量塊的形狀為圓形、正方形、長方形或者菱形。
6.如權利要求4所述的MEMS諧振器，其特征在于，多個孔徑的形狀和大小均相同。
7.如權利要求4所述的MEMS諧振器，其特征在于，每個孔徑均為軸對稱結構。
8.如權利要求7所述的MEMS諧振器，其特征在于，每個孔徑的形狀為扇形或者梯形。
9.如權利要求1所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述孔徑的數量為偶數個。
10.如權利要求9所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述孔徑的數量為4個、6個、8個、10個、12個、14個、16個、18個或者20個。
11.如權利要求1所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述間隙的距離為100nm～1.2μm。
12.如權利要求1～11中任一項所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述?錨部、質量塊及電極均為鍺材料結構。
13.如權利要求1～11中任一項所述的MEMS諧振器，其特征在于，所述電極的數量為四根，分別組成一對驅動電極及一對感測電極。
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