[實用新型]一種半導體晶圓目檢燈

有效

• 申請號: 201420147719.3
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN203797422U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 王峰;莊美琳;李抒智;陳佳;楊衛橋
• 申請（專利權）人: 上海半導體照明工程技術研究中心
• 主分類號: F21S2/00
• 分類號: F21S2/00;F21V17/00;F21V19/00;G01N21/95;F21W131/402;F21Y101/02
• 代理公司: 上海三和萬國知識產權代理事務所(普通合伙) 31230
• 代理人: 蔡海淳

1.一種半導體晶圓目檢燈，包括用于支撐燈殼的撐桿和設置在撐桿末端的燈殼，其特征是：

所述的燈殼為一圓柱或圓臺狀結構；

在燈殼的下端面，設置有數個LED發光器件；

其中，至少一個LED發光器件設置在燈殼的縱向中心軸線位置上，構成中心點LED發光器件；其余的LED發光器件圍繞所述的中心點LED發光器件設置，構成多個圍繞式LED發光器件；

在所述的每個LED發光器件的位置上，對應設置一個反光杯；

在所需照明的半導體晶圓目檢工作平面上，所述各個圍繞式LED發光器件反光杯輸出的光斑，與所述中心點LED發光器件反光杯輸出的光斑重合；

所述的撐桿、燈殼、中心點LED發光器件、多個圍繞式LED發光器件和多個反光杯，構成一體式的聚光燈具。

2.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述的各個LED發光器件位于所述對應的各個反光杯上開口端的中心位置。

3.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述的反光杯為一截錐狀構件，其反光杯的上開口端與所述燈殼的下端連接；所述反光杯的下開口端朝向半導體晶圓目檢工作平面設置。

4.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述多個圍繞式LED發光器件反光杯的縱向中心軸線，與所述燈殼的下底面成一夾角設置，分別構成一個向燈殼中心軸線傾斜的投光通道。

5.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是位于所述圍繞式LED發光器件上的各個反光杯的縱向中心軸線，朝向所述燈殼的縱向中心軸線傾斜；所述各個圍繞式LED發光器件上的各個反光杯的縱向中心軸線，與所述燈殼的縱向中心軸線成一夾角設置。

6.按照權利要求4或5所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述的夾角范圍為0～20度。

7.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述各個圍繞式LED發光器件反光杯的縱向中心軸線，在所述半導體晶圓目檢工作平面上，與所述燈殼的縱向中心軸線相交。

8.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是所述反光杯的上開口端與燈殼之間，對應設置有螺紋式連接結構或旋轉卡口式連接結構。

9.按照權利要求1所述的半導體晶圓目檢燈，其特征是在所述燈殼的上端面，設置散熱模塊或散熱模塊組。