[實(shí)用新型]半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420147566.2
• 申請(qǐng)日: 2014-03-28
• 公開（公告）號(hào): CN203773330U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施燕莉;李廣寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/418
• 分類號(hào): G05B19/418
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，包括空氣取樣系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，所述空氣取樣系統(tǒng)將取樣結(jié)果傳遞至檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)還包括：備用空氣取樣系統(tǒng)、分析結(jié)果判定系統(tǒng)、取樣環(huán)境記錄系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)庫(kù)；

所述備用空氣取樣系統(tǒng)用于在所述空氣取樣系統(tǒng)對(duì)取樣點(diǎn)進(jìn)行取樣時(shí)同時(shí)對(duì)取樣點(diǎn)取樣，并將取樣結(jié)果傳遞至檢測(cè)系統(tǒng)；

所述取樣環(huán)境記錄系統(tǒng)用于分別記錄所述空氣取樣系統(tǒng)和備用空氣取樣系統(tǒng)取樣時(shí)的環(huán)境狀態(tài)，并將記錄結(jié)果傳遞至分析結(jié)果判定系統(tǒng)；

所述檢測(cè)系統(tǒng)用于分析所述空氣取樣系統(tǒng)和備用分析空氣取樣系統(tǒng)取到的空氣樣本，并將分析結(jié)果分別傳遞至分析結(jié)果判定系統(tǒng)及數(shù)據(jù)庫(kù)；

所述數(shù)據(jù)庫(kù)用于記錄來(lái)自檢測(cè)系統(tǒng)的不同取樣點(diǎn)樣本的歷次分析結(jié)果；

所述分析結(jié)果判定系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)的對(duì)應(yīng)取樣點(diǎn)的歷次分析結(jié)果判定所述空氣取樣系統(tǒng)的分析結(jié)果是否異常，根據(jù)取樣環(huán)境記錄系統(tǒng)的數(shù)據(jù)判定所述空氣取樣系統(tǒng)和備用空氣取樣系統(tǒng)的取樣是否正常。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述備用空氣取樣系統(tǒng)包括：備用空氣取樣器、備用取樣瓶、流量計(jì)。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述取樣環(huán)境記錄系統(tǒng)包括風(fēng)力探頭、濕度探頭和溫度探頭。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)還包括干燥系統(tǒng)，用于干燥取樣空氣。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述干燥系統(tǒng)包括：放置有干燥劑的干燥劑管、防進(jìn)水裝置以及連接用的干燥管路。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造車間環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，空氣取樣系統(tǒng)、備用空氣取樣系統(tǒng)和取樣環(huán)境記錄系統(tǒng)固定于一固定盒中。