[實用新型]可靠性測試結構有效
| 申請號： | 201420147278.7 | 申請日： | 2014-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN203800037U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發明（設計）人： | 周華陽;宋永梁;程凌霄 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可靠性 測試 結構 | ||
1.一種可靠性測試結構，其特征在于，包括：?
襯底，所述襯底中包括有源區結構；?
柵極結構，所述柵極結構位于所述襯底上，并橫跨于所述有源區結構之上，所述柵極結構與所述有源區結構呈十字排列。?
2.如權利要求1所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述襯底中包括多個所述有源區結構，所述有源區結構為條形，所述有源區結構在第一方向排列。?
3.如權利要求2所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述可靠性測試結構包括多個所述柵極結構，所述柵極結構為條形，所述柵極結構在第二方向排列，所述第一方向與第二方向相垂直。?
4.如權利要求1至3中任意一項所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述可靠性測試結構還包括：?
測試金屬結構，位于所述柵極結構上，并至少覆蓋部分所述柵極結構；?
介質層，所述柵極結構和第一金屬結構通過所述介質層絕緣間隔。?
5.如權利要求4所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述可靠性測試結構還包括第一連接金屬，所述第一連接金屬與測試金屬結構相連，所述第一連接金屬與一測試金屬墊片導電連通。?
6.如權利要求4所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述第一金屬結構為條形。?
7.如權利要求6所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述第一金屬結構垂直于所述柵極結構。?
8.如權利要求7所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述第一金屬結構平行于所述柵極結構。?
9.如權利要求8所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述第一金屬結構完全覆蓋所述柵極結構。?
10.如權利要求9所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述第一金屬結構與所述柵極結構的寬度相等。?
11.如權利要求1所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述襯底結構還包括連接有源區，所述連接有源區分別與所述柵極結構和所述有源區結構絕緣間?隔，所述連接有源區與一襯底墊片導電連通。?
12.如權利要求1所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述可靠性測試結構還包括第二連接金屬，所述第二連接金屬與所述柵極結構相連，所述第二連接金屬與一柵極墊片導電連通。?
13.如權利要求1所述的可靠性測試結構，其特征在于，所述柵極結構為多晶硅柵極結構或金屬柵極結構。?
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