[實用新型]用于基板側面的涂布設備

有效

• 申請號: 201420146046.X
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN203778253U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 喬鴻培;李子勝;蔡憲毅;吳泰興;陳厚權;陳厚銘
• 申請（專利權）人: 揚博科技股份有限公司;仕元機械股份有限公司
• 主分類號: B05B15/10
• 分類號: B05B15/10;B05B13/02;B05B15/00
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 毛廣杰

技術領域

本實用新型有關于一種涂布設備，尤指一種用于基板側面的涂布設備。

背景技術

傳統的基板成膜方式包括一機械手臂及一噴頭，噴頭安裝在機械手臂上，再使用自動控制系統控制機械手臂的來回移動，而使噴頭直接對基板進行噴涂動作，并配合基板的表面形狀及面積移動。

然而，上述基板成膜方式大多針對基板的正面、背面等大面積表面進行涂布作業，但若將上述基板成膜方式使用于基板的側面等小面積表面或環形狀表面上，則容易有涂料不均勻及溢料到基板其他表面的問題，造成涂料成膜質量不佳、厚度不均勻等缺點。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于基板側面的涂布設備，其利用第二XY軸向移動機構帶動形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，Z軸向旋轉機構再帶動承載臺旋轉，并第一XY軸向移動機構用以調整噴頭組件與側面之間的間隔距離，使得本實用新型涂布設備能在基板的側面等小面積表面或環形狀表面上進行涂布作業，以達到成膜質量優良及厚度均勻等優點。

為了達成上述的目的，本實用新型提供一種用于基板側面的涂布設備，所述基板具有一側面及一形狀中心，該涂布設備包括：

一機座；

一第一XY軸向移動機構，固定在該機座上；?

一Z軸向旋轉機構，連接在該第一XY軸向移動機構上并跟隨該第一XY軸向移動機構移動；

一第二XY軸向移動機構，固定在該Z軸向旋轉機構上并跟隨該Z軸向旋轉機構旋轉；

一承載臺，連接在該第二XY軸向移動機構上并跟隨該第二XY軸向移動機構移動，所述基板定位于該承載臺；以及

一噴頭裝置，包含一Z軸向移動機構及安裝在該Z軸向移動機構的一噴頭組件，該噴頭組件跟隨該Z軸向移動機構移動并對應所述側面配置；

其中，該第二XY軸向移動機構帶動所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊，該第一XY軸向移動機構調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。

還包括用以計算所述基板的所述形狀中心位置的一運算裝置，該運算裝置以所述形狀中心為基準產生出一第一移動數據及一第二移動數據。

其中該運算裝置與該第二XY軸向移動機構電性連接并控制該第二XY軸向移動機構沿著該第一移動數據移動，且依據該第一移動數據以使所述形狀中心與該Z軸向旋轉機構的軸心重疊。

其中該運算裝置與該第一XY軸向移動機構電性連接并控制該第一XY軸向移動機構沿著該第二移動數據移動，且依據該第二移動數據以調整該噴頭組件與所述側面之間的間隔距離。

還包括一進料區及一出料區，該第一XY軸向移動機構移動在該進料區及該出料區之間。

還包括一檢測組件，該檢測組件對應該噴頭組件及所述基板配置。

其中該檢測組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動。

其中該檢測組件包括一第一攝影機及一第二攝影機，該第一攝影機對應所述基板的上方配置，該第二攝影機對應該噴頭組件及所述側面配置。

其中該檢測組件還包括一照明組件，該照明組件對應該噴頭組件及所述基板配置。

其中該第一攝影機、該第二攝影機及該照明組件安裝于該Z軸向移動機構并跟隨該Z軸向移動機構移動，該照明組件配置在該第一攝影機的一側。

本實用新型還具有以下優點：

第一、本實用新型涂布設備通過路徑選擇校正方式，使側面與噴頭組件之間的間隔距離維持在一定的數值之內，讓噴涂效果達到優化，從而達成成膜質量優良及厚度均勻等優點。

第二、形狀中心與Z軸向旋轉機構的軸心重疊，使基板以形狀中心為旋轉中心旋轉下，讓本實用新型涂布設備可采用噴涂連續不間斷的方式進行，當基板旋轉一圈之后，即完成噴涂作業，以達到噴涂均勻化及作業效率提高的優點。

第三、本實用新型涂布設備還包括檢測組件，檢測組件對應噴頭組件、基板上方及側面配置，使作業人員可通過檢測組件了解目前涂布作業的情形，運算裝置也可通過檢測組件進行第一移動數據及第二移動數據的調整，進而提升涂布設備的作業效率及操作便利性。

附圖說明

圖1：本實用新型涂布設備的立體組合圖。

圖2：本實用新型涂布設備的組合示意圖。

圖3：本實用新型涂布設備的方塊圖。

圖4：本實用新型涂布設備的使用狀態示意圖。

圖5：本實用新型涂布設備的另一方塊圖。

圖6：本實用新型涂布設備的另一使用狀態示意圖。

圖7：本實用新型涂布設備的又一使用狀態示意圖。

圖中：