[實用新型]一種蒸鍍源有效
| 申請號: | 201420145407.9 | 申請日: | 2014-03-28 |
| 公開(公告)號: | CN204080097U | 公開(公告)日: | 2015-01-07 |
| 發明(設計)人: | 唐元剛;林成勇 | 申請(專利權)人: | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/26 | 分類號: | C23C14/26 |
| 代理公司: | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 蒸鍍源 | ||
技術領域
本實用新型屬于OLED顯示技術領域,具體涉及一種新型的蒸鍍源。?
背景技術
有機電致發光顯示器(Active?Matrix?Organic?Light?Emitting?Diode,AMOLED),又稱“有機電激發光顯示器”,被視為繼LCD、PDP之后發展潛力最大的新型平板顯示技術,由于其突出的性能優勢得到了世界上許多國家和企業的重視,目前正處于技術快速發展、產業逐步啟動的階段。?
目前的OLED制造、薄膜電池制造、鍍膜等加工工藝中,普遍采用熱蒸鍍源加熱材料的形式進行鍍膜。熱蒸鍍源主要由蒸發舟和加熱電阻絲組成,蒸發舟主要用來裝蒸鍍材料,采用不銹鋼、氮化硼、硅、石英等材料制成,形狀以圓柱形、圓錐形為主,蒸發舟外纏繞固定的加熱電阻絲,對電阻絲通電發熱傳導蒸發舟發熱實現材料的蒸發,完成鍍膜。?
熱蒸鍍源結構簡單,工藝成熟,但存在很多缺點:首先,加熱過程緩慢,電阻絲通電后溫度有一個緩慢的升高過程,其次,溫度控制精度不高,無論是電流還是電壓控制都存在滯后問題。?
實用新型內容
本實用新型的目的在于克服蒸鍍源電阻絲加熱方式存在的問題,提供一種蒸發速率穩定時間短、蒸發溫度控制精度高且蒸發過程穩定性高的蒸鍍源。?
為解決上述技術問題,本實用新型采用以下技術方案:?
一種蒸鍍源,包括蒸發舟和空心管道,所述空心管道均勻地纏繞并緊貼于蒸發舟的外側,所述空心管道內通有循環介質,所述循環介質包括加熱循環介質和冷卻循環介質。?
進一步地,所述循環介質為煤油。?
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:?
首先,本實用新型的蒸鍍源采用循環介質直接加熱和冷卻的方法,通過迅速通入加熱循環介質,能夠在非常短的時間內達到蒸鍍材料的蒸發溫度;通過迅速通入冷卻循環介質,可以在蒸鍍完成后實現蒸鍍舟的迅速降溫,節約蒸鍍材料,降低蒸鍍成本;?
其次,由于循環介質的溫度易于精確控制,如熱煤油,其精度可控制在±0.1℃,且不存在滯后,便于精確控制蒸鍍溫度;同時,得益于介質的循環,受蒸鍍材料影響的循環介質被及時帶走,空心管道內一直保持恒溫的循環介質,方便獲得穩定的蒸發速率,進而提高膜的蒸鍍質量。?
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖。?
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。?
如圖1所示,本實用新型的蒸鍍源包括蒸發舟1和空心管道2,空心管道2均勻地纏繞于蒸發舟1的外側,為了盡量避免熱量損失,空心管道2緊貼蒸發舟1的外壁,空心管道2內通有循環介質,循環介質分為加熱循環介質和冷卻循環介質。?
當需要蒸鍍時,先將蒸鍍材料放入蒸發舟1,然后將加熱循環介質通入空心管道2中;加熱循環介質的溫度便通過空心管道2管壁傳導給蒸發舟1迅速帶動蒸發舟1升溫,達到蒸鍍材料的蒸發溫度后,蒸鍍材料便開始蒸發;當蒸鍍結束時,將冷卻循環介質通入空心管道2中,蒸發舟1迅速被降溫,蒸鍍材料停止蒸鍍。?
煤油是一種常見液體,且其精度可控制在±0.1℃,本實施例中的蒸鍍源的循環介質優選為煤油。?
本實施例中的蒸鍍源結構簡單,操作簡便,蒸發溫度便于精確、穩定控制,蒸發速率穩定,且蒸鍍完成后能夠實現蒸發舟的迅速降溫,不但能夠獲得高質量的蒸鍍膜,且可以節約蒸鍍材料,降低蒸鍍成本。?
盡管這里參照本實用新型的最佳解釋性實施例對本實用新型進行了描述,但是,應該理解,本領域技術人員可以設計出很多其他的修改和實施方式,這些修改和實施方式將落在本申請公開的原則范圍和精神之內。更具體地說,在本申請公開、附圖和權利要求的范圍內,可以對主題組合布局的組成部件和/或布局進行多種變型和改進。除了對組成部件和/或布局進行的變型和改進外,對于本領域技術人員來說,其他的用途也將是明顯的。?
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