[實用新型]一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420143402.2
• 申請日: 2014-03-27
• 公開（公告）號: CN203760522U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏鋒;敬啟毓;任海
• 申請（專利權(quán)）人: 四川虹視顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及顯示器件的熱處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備。

背景技術(shù)

由于OLED對水汽特別敏感以及退火和熱固化等低溫?zé)崽幚砉に嚨男枰谡麄€工藝制程中除了用于活化，氫化以及結(jié)晶等中、高溫?zé)崽幚砉に嚕ù笥?00℃）以外，還較多的使用了低溫?zé)崽幚砉に嚕?0-230℃），目前這一類低溫?zé)崽幚砉に囋O(shè)備大多使用獨立方式，通常是離線獨立設(shè)備配置封包裝置,然后通過工廠的物流轉(zhuǎn)運系統(tǒng)如:空中往返運輸車和存儲貨架等方式和其他設(shè)備進(jìn)行工藝連接。該方式通常使得連線轉(zhuǎn)運過程復(fù)雜、時間延長、產(chǎn)能降低且成本增加。由于該類型設(shè)備通常采用的方式為CCBS（Continuous CleanBatch system)即進(jìn)出口由同一只機械手，同一個窗口進(jìn)出熱處理腔體完成，就是一片一片的裝進(jìn)取出，突出的是裝和取同時連續(xù)的進(jìn)行，和單臺固化爐原理一樣，這從程序上就無法避免當(dāng)工藝時間(ex:1800s,230℃)到達(dá)時，機械手卻正在進(jìn)行入口的動作而導(dǎo)致實際加熱時間過長，根據(jù)經(jīng)驗如果從距離熱處理腔體的盒內(nèi)進(jìn)行取片裝載，延誤時間會超過100秒甚至更長，一方面這種方式本身影響對加熱系統(tǒng)的充分利用，降低了產(chǎn)能，更重要的是工藝控制得不到保證，影響產(chǎn)品質(zhì)量。通常使用CCBS的系統(tǒng)內(nèi)部沒有對進(jìn)入加熱腔體的基片進(jìn)行管理，即有可能玻璃在腔體內(nèi)發(fā)生破碎而不被識別，繼續(xù)裝載和取放動作，那么由于破碎造成的微粒將會大面積污染產(chǎn)品。也有一些工藝設(shè)備配置為平衡穿梭式傳輸?shù)漠a(chǎn)線方式將上下流工藝進(jìn)行銜接，但往往該方式使得設(shè)備長度超過十米以上，對于潔凈間的建造和維護(hù)成本大大增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型是解決上述問題，提供一種能在產(chǎn)線上使用并且入口和出口不在一起的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備。

本實用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備，包括腔體，基板出口和基板入口，基板入口設(shè)置在腔體左側(cè)腔壁的下部，基板出口設(shè)置在腔體右側(cè)腔壁的上部；還包括由處理室左部、處理室中部和處理室右部組成的處理室，處理室放置在腔體內(nèi)部；處理室左部包括處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層，處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層和處理室左部四層依次重疊；處理室中部包括處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層，處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層和處理室中部四層依次重疊；處理室右部包括處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層，處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層依次重疊；處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都設(shè)置有水平向傳動裝置；處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設(shè)置有升降裝置。

優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室左部一層、處理室左部二層、處理室左部三層、處理室左部四層、處理室中部底層、處理室中部一層、處理室中部二層、處理室中部三層、處理室中部四層、處理室右部底層、處理室右部一層、處理室右部二層、處理室右部三層和處理室右部四層都含設(shè)置有水平方位的撥動式傳感器。

優(yōu)選地，所述處理室右部一層、處理室左部二層、處理室右部三層和處理室左部四層還設(shè)置有垂直方向的撥動式傳感器。

優(yōu)選地，所述水平向傳動裝置的材質(zhì)為PI材質(zhì)。

優(yōu)選地，所述處理室左部底層、處理室中部底層和處理室右部底層安裝有驅(qū)動裝置。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動裝置和撥動式傳感器之間的連接線材采用鎧裝隔熱材料包裹。

綜上所述，本實用新型的產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備優(yōu)點為：能夠在產(chǎn)線上自動運行，工藝誤差低，成本低，體積小。

附圖說明

圖1為產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備腔體圖；

圖2為產(chǎn)線用OLED基板高效熱處理設(shè)備結(jié)構(gòu)圖；

圖3為處理室結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本實用新型的實施例處理室內(nèi)部流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實施例對本實用新型作進(jìn)一步的闡述。