[實用新型]一種腐蝕晶片用承載裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420141030.X | 申請日： | 2014-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN203741459U | 公開（公告）日： | 2014-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 寧敏;劉云青;高玉強(qiáng) | 申請（專利權(quán)）人： | 山東天岳晶體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 腐蝕 晶片 承載 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種腐蝕晶片用承載裝置，其特征在于：所述的晶片承載裝置包括采用鎳金屬絲編織的網(wǎng)桶（3），網(wǎng)桶（3）內(nèi)設(shè)置有傾斜向下的多層網(wǎng)格（4），所述的網(wǎng)格（3）也采用鎳金屬編織而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腐蝕晶片用承載裝置，其特征在于：所述的網(wǎng)格（4）層數(shù)為2～12層，網(wǎng)格（4）的直徑為170-200mm，相鄰網(wǎng)格之間間隔1cm，每層網(wǎng)格呈0～45度傾斜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腐蝕晶片用承載裝置，其特征在于：所述的網(wǎng)桶（3）頂部通過鎳制的鎖鏈（2）連接有掛鉤（1），所述的掛鉤（1）高于腐蝕液的液面。
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