[實用新型]多激光平面度測量儀器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420140188.5
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN204115679U
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 洪金龍;仇增華
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市天勤儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 趙蕊紅

1.一種多激光平面度測量儀器，其特征在于：設(shè)置有架體和激光發(fā)射單元，所述架體設(shè)置有基座和用于放置測試樣品的測試平臺，所述基座位于所述測試平臺下方，所述激光發(fā)射單元裝配于所述基座，所述測試平臺位于所述激光發(fā)射單元上方，激光發(fā)射單元自下方發(fā)射激光對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：設(shè)置有位置調(diào)整機構(gòu)，所述位置調(diào)整機構(gòu)裝配于所述基座，

所述位置調(diào)整機構(gòu)設(shè)置有驅(qū)動單元、滑動單元、移動座和絲桿；

所述移動座活動裝配于所述滑動單元，所述絲桿與所述移動座螺紋配合，?所述驅(qū)動單元驅(qū)動所述絲桿轉(zhuǎn)動，所述激光發(fā)射單元固定裝配于所述移動座。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多激光平面度測量儀器其特征在于：所述滑動單元設(shè)置有滑軌和與所述滑軌匹配的滑槽，所述滑軌固定于所述基座，所述滑槽固定裝配于所述移動座。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述驅(qū)動單元設(shè)置為馬達或者氣缸。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述激光發(fā)射單元由多個激光發(fā)射器構(gòu)成，每個激光發(fā)射器距離所述測試平臺之間的間距均相等。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述激光反射單元設(shè)置有三個激光發(fā)射器。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述激光發(fā)射單元還設(shè)置有激光間距調(diào)節(jié)單元，所述激光間距調(diào)節(jié)單元固定裝配于所述移動座，所述激光發(fā)射器裝配于所述激光間距調(diào)節(jié)單元。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述激光間距調(diào)節(jié)單元設(shè)置有調(diào)節(jié)板和多個激光裝配治具，所述激光發(fā)射器的數(shù)量與所述激光裝配治具的數(shù)量相等，每個激光發(fā)射器固定于對應(yīng)的一個激光裝配治具，所述調(diào)節(jié)板設(shè)置有矩形裝配框，所述激光裝配治具活動裝配于所述矩形裝配框并通過固定裝置定位。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述激光裝配治具設(shè)置有固定部及裝配部，所述裝配部與所述固定部固定連接，所述激光發(fā)射器固定于所述固定部，所述裝配部裝配于所述調(diào)節(jié)板。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多激光平面度測量儀器，其特征在于：所述架體還設(shè)置有基準平面和多個相互之間平行的固定基準，所述固定基準一端與所述基座固定連接，所述固定基準另一端與所述基準平面固定連接，所述測試平臺設(shè)置于所述基準平面。