[實用新型]九頭激光平面度測量儀

有效

• 申請號: 201420140187.0
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN203758471U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 洪金龍;仇增華
• 申請（專利權）人: 東莞市天勤儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 趙蕊紅

1.一種九頭激光平面度測量儀，其特征在于：設置有架體和激光發射單元，所述架體設置有基座和用于放置測試樣品的測試平臺，所述基座位于所述測試平臺下方，所述激光發射單元裝配于所述基座，所述測試平臺位于所述激光發射單元上方，激光發射單元自下方發射激光對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測；

所述激光發射單元由九個激光發射器構成，九個激光發射器分別固定于所述基座，每個激光發射器距離測試平臺之間的距離相等。

2.根據權利要求1所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：九個激光發射器呈三行三列的矩陣形式排列于所述基座。

3.根據權利要求1所述的九頭激光平面度測量儀其特征在于：還設置用于對所述激光發射器進行位置調整的調整機構，所述激光發射器通過所述調整機構固定于所述基座。

4.根據權利要求3所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：所述調整機構由圓心呈直線排列的多個第一通孔、圓心呈直線排列的多個第二通孔、三個平行的橫向裝配條及設置于每個橫向裝配條上的圓心呈直線排列的多個第三通孔構成，過多個所述第一通孔圓心的直線與所述橫向裝配條垂直；

所述第一通孔、所述第二通孔分別設置于所述基座，每個橫向裝配條通過一個第一通孔和一個第二通孔固定，所述激光發射器固定于所述橫向裝配條。

5.根據權利要求4所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：每三個激光發射器裝配于一個橫向裝配條。

6.根據權利要求5所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：還設置有九個激光裝配治具，每個激光發射器固定于一個激光裝配治具，所述激光發射器固定于所述激光裝配治具，所述激光裝配治具固定于所述橫向裝配條。

7.根據權利要求5所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：所述激光裝配治具設置有裝配槽孔，所述裝配槽孔通過螺釘與所述第三通孔固定連接。

8.根據權利要求7所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：還設置有導板，所述導板設置有九個呈矩陣排列的透射窗，所述透射窗的位置與所述激光發射器的位置相對應。

9.根據權利要求1所述的九頭激光平面度測量儀，其特征在于：所述架體還設置有基準平面和多個相互之間平行的固定基準，所述固定基準一端與所述基座固定連接，所述固定基準另一端與所述基準平面固定連接，所述測試平臺設置于所述基準平面。