[實用新型]一種掩模顆粒度檢測裝置

有效

• 申請號: 201420138725.2
• 申請日: 2014-03-25
• 公開（公告）號: CN203838473U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 孫鶴源;王長剛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，包括：掩模版、吸版臺、顆粒度交接機構、顆粒度檢測設備和環境防護裝置；其中，

所述顆粒度交接機構做升降運動將所述掩模版運送至一顆粒度檢測工位，所述掩模版被所述吸版臺真空吸附固定，由所述顆粒度檢測設備進行顆粒度檢測；

所述環境防護裝置，用于將所述顆粒度檢測設備與外界環境隔離。

2.如權利要求1所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述吸版臺包括：吸版臺面、真空接口和掩模存在感應器；

所述吸版臺面承載所述真空接口和掩模存在感應器；

所述真空接口，用于真空吸附并固定所述掩模版；

所述掩模存在感應器，用于感應所述掩模版是否存在。

3.如權利要求1所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述顆粒度交接機構包括：花鍵、絲杠、直流電機和同步帶輪；其中，所述直流電機驅動所述同步帶輪、絲杠進行傳動，從而使所述花鍵進行導向。

4.如權利要求3所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述顆粒度交接機構還包括：編碼器，用于對由所述直流電機、同步帶輪、絲杠和花鍵構成的運動軸的升降精度進行反饋。

5.如權利要求3所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述顆粒度交接機構還包括：工位傳感器，用于感應所述由所述直流電機、同步帶輪、絲杠和花鍵構成的運動軸是否運動到所述顆粒度檢測工位。

6.如權利要求1所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述環境防護裝置包括：

同步帶，所述同步帶兩側設有同步帶輪；

直線氣缸，通過一固定板與所述同步帶連接，設置在所述同步帶一側；

防塵罩，通過一連接件與所述同步帶連接，設置在所述同步帶另一側；

導向導軌，與所述防塵罩連接；

開合檢測傳感器，設置于所述防塵罩的一側；

所述同步帶、直線氣缸、防塵罩、導向導軌和開合檢測傳感器設置于一防塵框架內。

7.如權利要求6所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述防塵框架包括：抽顆粒接口。

8.如權利要求1所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，還包括顆粒度檢測維護單元，與所述顆粒度檢測設備連接。

9.如權利要求8所述的掩模顆粒度檢測裝置，其特征在于，所述顆粒度檢測維護單元包括：

抽拉滑軌機構，與所述顆粒度檢測設備連接；

定位自鎖結構，與所述抽拉滑軌機構相對設置。