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[實用新型]平面研磨機的下盤驅動結構有效

專利信息
申請號: 201420138339.3 申請日: 2014-03-26
公開(公告)號: CN203887677U 公開(公告)日: 2014-10-22
發明(設計)人: 王成勇;鄭李娟;宋月賢;李勝藍;黎清健;王啟民 申請(專利權)人: 廣東工業大學
主分類號: B24B37/04 分類號: B24B37/04;B24B37/34
代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 代理人: 林麗明
地址: 510006 廣東省廣*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 平面 研磨機 下盤 驅動 結構
【權利要求書】:

1.一種平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于包括有研磨盤(1)、機架(5)、力矩電機(7),其中力矩電機(7)為大扭矩直驅式力矩電機,主軸與轉臺(4)為一體結構,轉臺(4)是力矩電機(7)的轉子,支撐盤(3)固定在轉臺(4)上,?轉臺(4)由轉臺軸承(6)的內圈支撐,轉臺軸承(6)的外圈固定在力矩電機(7)的外壁上,轉子(4)在水平方向由雙列圓柱滾子軸承(9)固定,轉臺(4)轉動帶動支撐盤(3)轉動,冷卻盤(2)固定在支撐盤(3)上,研磨盤(1)固定在冷卻盤(2)上,?研磨盤(1)設有的冷卻回路經過轉臺(4),轉臺(4)的下端裝有用來實時監測與控制主軸轉速的旋轉編碼器(12),定子(11)的下端為電機端蓋(13),力矩電機(7)固定在機架(5)上,機架(5)上開有研磨廢液流出管道(8)。

2.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述支撐盤(3)通過螺栓固定在轉臺(4)上。

3.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述轉臺軸承(6)的內圈上設有安裝孔,轉臺(4)通過螺栓穿過轉臺軸承(6)內圈上設有的安裝孔與轉臺軸承(6)的內圈連接。

4.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述雙列圓柱滾子軸承(9)兩端分別設有套筒和定位圓螺母(10)。

5.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述支撐盤(3)通過螺栓固定在轉臺(4)上。

6.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述冷卻盤(2)與支撐盤(3)之間設有密封墊,防止冷卻盤溝槽(30)內的冷卻水滲出。

7.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述研磨盤(1)通過錐銷固定在冷卻盤(2)上。

8.根據權利要求1所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述旋轉編碼器(12)通過圓螺母(14)固定在轉臺(4)的下端。

9.根據權利要求1至8任一項所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上述研磨盤(1)設有的冷卻回路包括轉臺(4)上設有主軸入水口(23)、主軸入水管道(16)、主軸出水口(19)、主軸出水管道(15),冷卻盤(2)上設有入水孔(26)、出水孔(27)、冷卻盤入水管道(25)、冷卻盤出水孔(29)、冷卻盤出水管道(28)及冷卻盤溝槽(30),冷卻水通過主軸入水口(23)進入主軸入水管道(16),然后通過冷卻盤(2)上設有的入水孔(26)進入冷卻盤入水管道(25),通過通孔(24)進入冷卻盤溝槽(30),主軸入水管道(16)與冷卻盤(2)連接,冷卻水在冷卻盤溝槽(30)內流動,對上面的研磨盤(1)進行冷卻,通過冷卻盤出水孔(29)進入冷卻盤出水管道(28),通過出水孔(27)進入主軸出水管道(15),主軸出水管道(15)與冷卻盤(2)連接,最終通過主軸出水口(19)流出。

10.根據權利要求9所述的平面研磨機的下盤驅動結構,其特征在于上主軸入水管道(16)與冷卻盤(2)之間通過入水孔(26)內所設的螺紋聯接,主軸出水管道(15)與冷卻盤(2)通過螺栓連接。

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