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[實(shí)用新型]平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201420138339.3 申請(qǐng)日: 2014-03-26
公開(kāi)(公告)號(hào): CN203887677U 公開(kāi)(公告)日: 2014-10-22
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 王成勇;鄭李娟;宋月賢;李勝藍(lán);黎清健;王啟民 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 廣東工業(yè)大學(xué)
主分類(lèi)號(hào): B24B37/04 分類(lèi)號(hào): B24B37/04;B24B37/34
代理公司: 廣州粵高專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44102 代理人: 林麗明
地址: 510006 廣東省廣*** 國(guó)省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 平面 研磨機(jī) 下盤(pán) 驅(qū)動(dòng) 結(jié)構(gòu)
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于包括有研磨盤(pán)(1)、機(jī)架(5)、力矩電機(jī)(7),其中力矩電機(jī)(7)為大扭矩直驅(qū)式力矩電機(jī),主軸與轉(zhuǎn)臺(tái)(4)為一體結(jié)構(gòu),轉(zhuǎn)臺(tái)(4)是力矩電機(jī)(7)的轉(zhuǎn)子,支撐盤(pán)(3)固定在轉(zhuǎn)臺(tái)(4)上,?轉(zhuǎn)臺(tái)(4)由轉(zhuǎn)臺(tái)軸承(6)的內(nèi)圈支撐,轉(zhuǎn)臺(tái)軸承(6)的外圈固定在力矩電機(jī)(7)的外壁上,轉(zhuǎn)子(4)在水平方向由雙列圓柱滾子軸承(9)固定,轉(zhuǎn)臺(tái)(4)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)支撐盤(pán)(3)轉(zhuǎn)動(dòng),冷卻盤(pán)(2)固定在支撐盤(pán)(3)上,研磨盤(pán)(1)固定在冷卻盤(pán)(2)上,?研磨盤(pán)(1)設(shè)有的冷卻回路經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)臺(tái)(4),轉(zhuǎn)臺(tái)(4)的下端裝有用來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與控制主軸轉(zhuǎn)速的旋轉(zhuǎn)編碼器(12),定子(11)的下端為電機(jī)端蓋(13),力矩電機(jī)(7)固定在機(jī)架(5)上,機(jī)架(5)上開(kāi)有研磨廢液流出管道(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述支撐盤(pán)(3)通過(guò)螺栓固定在轉(zhuǎn)臺(tái)(4)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述轉(zhuǎn)臺(tái)軸承(6)的內(nèi)圈上設(shè)有安裝孔,轉(zhuǎn)臺(tái)(4)通過(guò)螺栓穿過(guò)轉(zhuǎn)臺(tái)軸承(6)內(nèi)圈上設(shè)有的安裝孔與轉(zhuǎn)臺(tái)軸承(6)的內(nèi)圈連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述雙列圓柱滾子軸承(9)兩端分別設(shè)有套筒和定位圓螺母(10)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述支撐盤(pán)(3)通過(guò)螺栓固定在轉(zhuǎn)臺(tái)(4)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述冷卻盤(pán)(2)與支撐盤(pán)(3)之間設(shè)有密封墊,防止冷卻盤(pán)溝槽(30)內(nèi)的冷卻水滲出。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述研磨盤(pán)(1)通過(guò)錐銷(xiāo)固定在冷卻盤(pán)(2)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述旋轉(zhuǎn)編碼器(12)通過(guò)圓螺母(14)固定在轉(zhuǎn)臺(tái)(4)的下端。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上述研磨盤(pán)(1)設(shè)有的冷卻回路包括轉(zhuǎn)臺(tái)(4)上設(shè)有主軸入水口(23)、主軸入水管道(16)、主軸出水口(19)、主軸出水管道(15),冷卻盤(pán)(2)上設(shè)有入水孔(26)、出水孔(27)、冷卻盤(pán)入水管道(25)、冷卻盤(pán)出水孔(29)、冷卻盤(pán)出水管道(28)及冷卻盤(pán)溝槽(30),冷卻水通過(guò)主軸入水口(23)進(jìn)入主軸入水管道(16),然后通過(guò)冷卻盤(pán)(2)上設(shè)有的入水孔(26)進(jìn)入冷卻盤(pán)入水管道(25),通過(guò)通孔(24)進(jìn)入冷卻盤(pán)溝槽(30),主軸入水管道(16)與冷卻盤(pán)(2)連接,冷卻水在冷卻盤(pán)溝槽(30)內(nèi)流動(dòng),對(duì)上面的研磨盤(pán)(1)進(jìn)行冷卻,通過(guò)冷卻盤(pán)出水孔(29)進(jìn)入冷卻盤(pán)出水管道(28),通過(guò)出水孔(27)進(jìn)入主軸出水管道(15),主軸出水管道(15)與冷卻盤(pán)(2)連接,最終通過(guò)主軸出水口(19)流出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的平面研磨機(jī)的下盤(pán)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),其特征在于上主軸入水管道(16)與冷卻盤(pán)(2)之間通過(guò)入水孔(26)內(nèi)所設(shè)的螺紋聯(lián)接,主軸出水管道(15)與冷卻盤(pán)(2)通過(guò)螺栓連接。

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