[實用新型]遠心掃描鏡頭

有效

• 申請號: 201420136981.8
• 申請日: 2014-03-25
• 公開（公告）號: CN203799099U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 張寬
• 申請（專利權）人: 維嘉數控科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G02B13/22
• 分類號: G02B13/22;B23K26/04
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

技術領域

本實用新型涉及激光加工領域，尤其涉及用于紫外激光打微孔的遠心掃描鏡頭。

背景技術

現有的紫外激光加工設備通常使用非遠心掃描鏡頭，從而在加工較深位置時，一方面，孔內部深度容易傾斜，孔形也不圓；另一方面，在加工物體離焦時，被加工位置和實際需要的加工位置存在偏移，從而無法達到加工的要求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種遠心掃描鏡頭，使用該遠心掃描鏡頭可以保證孔的圓度，同時孔的加工位置也在允許的偏移范圍之內。

為實現以上實用新型目的，本實用新型采用如下技術方案:?一種遠心掃描鏡頭，用于激光打孔，所述遠心掃描鏡頭包括依次靠近被加工物體的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡及第五透鏡，所述遠心掃描鏡頭的入瞳直徑為10毫米，有效鏡頭焦距為121.95毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述第一透鏡遠離第二透鏡的一側面為凹面，靠近第二透鏡的一側面為平面，所述第二透鏡靠近第一透鏡的一側面為凹面，靠近第三透鏡的一側面為凸面，所述第三透鏡靠近第二透鏡的一側面為平面，靠近第四透鏡的一側面為凸面，所述第四透鏡的兩側面均為凸面，所述第五透鏡靠近第四透鏡的一側面為凸面，相對的另一側面為平面。

作為本實用新型的進一步改進，所述第一透鏡的兩個球面半徑分別為-40.923毫米和354.791毫米，對應的兩個厚度分別為5.000毫米和7.710毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述第二透鏡的兩個球面半徑分別為-94.768毫米和-72.256毫米，對應的兩個厚度分別為18.000毫米和0.500毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述第三透鏡的兩個球面半徑分別為2457.454毫米和-72.650毫米，對應的兩個厚度分別為22.820毫米和0.500毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述第四透鏡的兩個球面半徑分別為341.579毫米和-342.776毫米，對應的兩個厚度分別為12.730毫米和0.500毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述第五透鏡的兩個球面半徑分別為161.983毫米和748.621毫米，對應的兩個厚度分別為18.000毫米和168.825毫米。

作為本實用新型的進一步改進，所述遠心掃描鏡頭的最大遠心度為0.346度。

作為本實用新型的進一步改進，所述遠心掃描鏡頭適用于波長為354.7納米的激光，切趾因子為1.83，激光光束質量因子為1.2。

相較于現有技術，本實用新型的遠心掃描鏡頭在鏡頭視場范圍內，出射光的光軸基本垂直于被加工物體，且在加工較深位置時，孔內部深度不容易傾斜，也能保證孔的圓度，同時孔的加工位置也在允許的偏移范圍之內。

附圖說明

圖1是本實用新型的遠心掃描鏡頭的結構示意圖。

圖2是圖1所示的遠心掃描鏡頭的調制傳輸曲線圖。

圖3是圖1所示的遠心掃描鏡頭的象散，場曲，畸變圖。

圖4是圖1所示的遠心掃描鏡頭的鏡頭像差圖。

圖5是使用圖1所示的遠心掃描鏡頭的光學系統示意圖。

具體實施方式

如圖1-4所示，本實用新型的遠心掃描鏡頭10用于激光打孔。所述遠心掃描鏡頭10包括依次靠近被加工物體的第一透鏡11、第二透鏡12、第三透鏡13、第四透鏡14及第五透鏡15。所述遠心掃描鏡頭10的入瞳直徑為10毫米，有效鏡頭焦距（EFL）為121.95毫米，適用波長（λ）為354.7納米的紫外激光器。

所述第一透鏡11遠離第二透鏡12的一側面111為凹面，靠近第二透鏡12的一側面112為平面；所述第二透鏡12靠近第一透鏡11的一側面121為凹面，靠近第三透鏡13的一側面122為凸面；所述第三透鏡13靠近第二透鏡12的一側面131為平面，靠近第四透鏡14的一側面132為凸面；所述第四透鏡14的兩側面141、142均為凸面；所述第五透鏡15靠近第四透鏡14的一側面151為凸面，相對的另一側面152為平面。因此，所述第一透鏡11至所述第五透鏡15中的每一個透鏡均由兩個半徑組成，且該五個透鏡組合在一起，才能得到一個完整的遠心掃描鏡頭10。

所述第一透鏡11至第五透鏡15的具體球面半徑值和厚度值請參下表。所述遠心掃描鏡頭10的光學性能曲線圖如圖2-4所示。

需要說明的是，上述每個透鏡的球面半徑數值和厚度數值都是滿足各項光學指標而設計的。