[實用新型]高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420136464.0
• 申請日: 2014-03-25
• 公開（公告）號: CN203782210U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李顯坪;陳琦;劉彩玫;潘晉;高義;李金
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州中天利新材料股份有限公司
• 主分類號: C22B30/04
• 分類號: C22B30/04;C22B5/16
• 代理公司: 揚州市錦江專利事務(wù)所 32106
• 代理人: 秦關(guān)華

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種非金屬材料的工業(yè)化提純的生產(chǎn)技術(shù)，特別涉及一種半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料高純砷的上產(chǎn)用還原反應(yīng)設(shè)備。

背景技術(shù)

目前高純砷的生產(chǎn)方法有氯化精餾法、鉛熔池升華法和砷化氫裂解法，精制白砷還原升華法。以上方法除砷化氫裂解法無需還原外，其他方法都需設(shè)置還原裝置。

鉛熔池升華法存在質(zhì)量不能達標；砷化氫裂解法存在砷化氫毒氣泄漏，氯化法存在氯氣和氯化氫泄露的安全隱患。

實用新型內(nèi)容

本實用新型目的在于提供一種用于高純砷生產(chǎn)的還原反應(yīng)器。

本發(fā)明包括升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段依次密封連接且相互連通，所述升華段的開始端設(shè)置進氣口，在所述產(chǎn)品段的末端設(shè)置出氣口，所述出氣口通過管道連接至尾氣瓶，所述升華段、反應(yīng)段、產(chǎn)品段分別包括爐體，在所述各爐體外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦、保溫層，在所述爐瓦內(nèi)設(shè)置爐絲，在所述相鄰兩個爐體的連接處分別設(shè)置活動保溫套，在所述升華段的爐體內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟，在所述產(chǎn)品段爐體的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦，在所述反應(yīng)段的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器。

本實用新型操作時，事先向升華段三氧化二鋁陶瓷舟內(nèi)置入白砷，通入惰性氣體排除空氣，然后通氫氣并逐漸升溫，升華段溫度控制在350-400℃，反應(yīng)段溫度控制在800-1000℃，產(chǎn)品段溫度控制在300-350℃；通過在反應(yīng)段設(shè)置螺旋石英盤管，使得反應(yīng)形成邊長，還原反應(yīng)更為充分，可有效保障還原轉(zhuǎn)化率，使得白砷全部還原成單質(zhì)砷。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本高純砷生產(chǎn)還原反應(yīng)器，包括升華段1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3，升華段1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3依次密封連接且相互連通，升華段1的開始端設(shè)置進氣口4，在產(chǎn)品段3的末端設(shè)置出氣口5，出氣口5通過管道連接至尾氣瓶6，升華段1、反應(yīng)段2、產(chǎn)品段3分別包括爐體7-1、7-2、7-3，在各爐體7-1、7-2、7-3外分別由內(nèi)而外設(shè)置爐瓦8、保溫層9，在爐瓦8內(nèi)設(shè)置爐絲10，在相鄰兩個爐體的連接處分別設(shè)置活動保溫套11，在升華段1的爐體7-1內(nèi)設(shè)置三氧化二鋁陶瓷舟12，在產(chǎn)品段3爐體7-3的內(nèi)壁上設(shè)置石英瓦13，在反應(yīng)段2的爐體內(nèi)設(shè)置螺旋設(shè)置的盤管反應(yīng)器14。