[實用新型]干膜顯影機水洗缸有效
| 申請號： | 201420129814.0 | 申請日： | 2014-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN203811986U | 公開（公告）日： | 2014-09-03 |
| 發明（設計）人： | 黃子來 | 申請（專利權）人： | 深圳市航盛電路科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市科吉華烽知識產權事務所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 韓英杰;許建 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影 水洗 | ||
【權利要求書】：
1.?一種干膜顯影機水洗缸，其特征在于：包括缸體及冷卻組件，所述冷卻組件設有冷卻管，所述冷卻管設置于所述缸體中，所述缸體上開設有用于注入水洗用水的水洗水進水口及用于排出水洗用水的水洗水出水口，所述冷卻管包括依次連接的進水段、冷卻段及出水段。
2.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述冷卻管靠近缸體的底部設置。
3.?根據權利要求2所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述水洗水進水口對應設置于冷卻段的中部下方。
4.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述進水段及出水段豎直設置。
5.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述冷卻管采用鐵氟龍制成。
6.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述膜顯影機水洗缸設置于多個冷卻管，所述多個冷卻管相互平行設置。
7.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述干膜顯影機水洗缸的缸體內還設有溫度傳感器。
8.?根據權利要求1所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述干膜顯影機水洗缸的缸體還設有密封箱，所述密封箱將所述冷卻管的冷卻段密封。
9.?根據權利要求8所述干膜顯影機水洗缸，其特征在于：所述密封箱內注入有熱傳遞介質。
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