[實用新型]一種石墨舟有效
| 申請號: | 201420128815.3 | 申請日: | 2014-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN204281858U | 公開(公告)日: | 2015-04-22 |
| 發明(設計)人: | 倪東霞;朱小琴 | 申請(專利權)人: | 茂迪(蘇州)新能源有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;H01L21/673 |
| 代理公司: | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人: | 李儀萍 |
| 地址: | 215300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 | ||
1.一種石墨舟,其特征在于,所述石墨舟至少包含:
若干個非等間距排列的石墨板;
若干個用于隔離相鄰石墨板的陶瓷環;
若干個用于串接石墨板與相應陶瓷環的陶瓷棒;
自石墨舟外側至中央間具有至少一由相鄰石墨板構成的第一石墨板間距、至少一由相鄰石墨板構成的第三石墨板間距以及至少一由其他相鄰石墨板構成的第二石墨板間距,其中第一石墨板間距與第二石墨板間距相等,且均小于第三石墨板間距。
2.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:包含:
若干個設置于石墨舟長度方向兩端、用于連結奇數列石墨板的第一石墨塊;
若干個設置于石墨舟長度方向兩端、用于連結偶數列石墨板的第二石墨塊;
若干個用于串接前述石墨板或相應石墨塊的陶瓷棒。
3.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:所述第一石墨板間距位于石墨舟外側,所述第三石墨板間距位于石墨舟中部,所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。
4.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:所述第一石墨板間距位于石墨舟中部,所述第三石墨板間距位于石墨舟外側,所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。
5.根據權利要求1所述的石墨舟,其特征在于:所述第三石墨板間距至少具有2個。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





