[實用新型]一種介電/壓電陶瓷、薄膜極化裝置有效
| 申請號: | 201420122135.0 | 申請日: | 2014-03-18 |
| 公開(公告)號: | CN203721774U | 公開(公告)日: | 2014-07-16 |
| 發明(設計)人: | 遲慶國;張穎;楊奉佑;崔洋;張昌海 | 申請(專利權)人: | 哈爾濱理工大學 |
| 主分類號: | H01L41/257 | 分類號: | H01L41/257 |
| 代理公司: | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人: | 高媛 |
| 地址: | 150080 黑龍*** | 國省代碼: | 黑龍江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 壓電 陶瓷 薄膜 極化 裝置 | ||
1.一種介電/壓電陶瓷、薄膜極化裝置,其特征在于:所述一種介電/壓電陶瓷、薄膜極化裝置包括陶瓷極化夾具、工作平臺(1)、溫度臺(2)、兩個測試探針(4)、兩個控制臺(5)、兩個移動滑塊(6)、兩個旋桿(7)和兩個擋板(8),工作平臺(1)水平設置,工作平臺(1)兩端的上表面分別各設有一個擋板(8),兩個移動滑塊(6)分別設置在工作平臺(1)上表面的兩端,每個擋板(8)上分別各插裝一個用于推動移動滑塊(6)的旋桿(7),每個移動滑塊(6)上分別各安裝一個控制臺(5),每個控制臺(5)上分別各安裝一個測試探針(4),溫度臺(2)設置在工作平臺(1)中部的上表面上,每個測試探針(4)的頭部端均位于溫度臺(5)的上方,所述陶瓷極化夾具包括頂板(9)、底板(10)、頂柱(11)、底座(12)和多個連接螺栓(15),頂板(9)、底板(10)由上至下并排平行設置,頂板(9)通過多個連接螺栓(15)與底板(10)連接,底座(12)安裝在底板(10)上表面的中部,頂柱(11)的上端插裝在頂板(9)下表面的中部,頂板(9)的側壁設有上引線入口(13),底板(10)的側壁設有下引線入口(14)。
2.根據權利要求1所述一種介電/壓電陶瓷、薄膜極化裝置,其特征在于:每個探針(4)包括引桿(4-1)和探針陣列(4-2),引桿(4-1)的一端與控制臺(5)連接,引桿(4-1)的另一端與探針陣列(4-2)連接。
3.根據權利要求2所述一種介電/壓電陶瓷、薄膜極化裝置,其特征在于:探針陣列(4-2)是由16至25個探針組成探針陣列。
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