[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420120184.0
• 申請(qǐng)日: 2014-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN203783198U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊政諭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號(hào): E04H5/02
• 分類號(hào): E04H5/02;F24F7/10
• 代理公司: 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，是指用于半導(dǎo)體的生產(chǎn)場(chǎng)合。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體廠房是專門用來(lái)制備半導(dǎo)體器件的地方，目前已經(jīng)得到了廣泛應(yīng)用。由于半導(dǎo)體器件的特殊性，要求半導(dǎo)體廠房必須設(shè)計(jì)成潔凈室，以滿足恒溫恒濕以及潔凈度等要求。對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房，如32/28nm，甚至以下的高端制程，不但對(duì)潔凈度的要求較高，且對(duì)漂浮于空氣中的懸浮化學(xué)分子氣體污染更為嚴(yán)格。

現(xiàn)有的用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室參見附圖1所示，主要包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間，所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間4、潔凈空間5和循環(huán)空間6，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板7，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板2和混凝土板3。

所述大型潔凈空間內(nèi)設(shè)有各種加工設(shè)備，在循環(huán)空間（又稱技術(shù)夾層）內(nèi)會(huì)設(shè)有各種生產(chǎn)輔助設(shè)備1，如真空泵、冷凍機(jī)等，實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn)：真空泵會(huì)因?yàn)檎饎?dòng)而松脫，導(dǎo)致氣體泄漏；冷凍機(jī)的配管在清洗過(guò)程中因未鎖緊或接頭松動(dòng)而泄漏腐蝕性氣體。在以往的案例中，尤其是干刻蝕區(qū)會(huì)經(jīng)常發(fā)生上述事故，導(dǎo)致腐蝕性氣體泄漏，這不僅會(huì)造成導(dǎo)線腐蝕，而且這些腐蝕性氣體還會(huì)通過(guò)回風(fēng)通道進(jìn)入整個(gè)潔凈空間，造成散布擴(kuò)散，從而影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。這種因?yàn)槲挥谘h(huán)空間內(nèi)的生產(chǎn)輔助設(shè)備泄漏而造成整個(gè)潔凈空間的污染事件時(shí)有發(fā)生。

針對(duì)上述問(wèn)題，現(xiàn)有技術(shù)采用的方法是在潔凈室內(nèi)設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器，但由于潔凈室內(nèi)的空間較大，很難做到完全清除，且該法的成本極高；這對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房（如32/28nm高端制程）是非常致命的，原因是高端半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)腐蝕性氣體的含量要求更高。因此，開發(fā)一種能避免腐蝕性氣體影響的潔凈室，對(duì)于一些高端半導(dǎo)體的生產(chǎn)廠房具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室。

為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道；

所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板和混凝土板；所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備；

所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板，使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間；循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管，連通管的一端與所述密閉空間連通，另一端與潔凈室的外界連通；

在所述潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)有至少1個(gè)回風(fēng)柱，所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通，其底端與高架地板連通；

所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。

上文中，所述循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管，其與所述密閉空間連通，從而當(dāng)生產(chǎn)輔助設(shè)備產(chǎn)生泄漏時(shí)，可以通過(guò)連通管將腐蝕性氣體排出。在連通管的出口處，還可以設(shè)置洗滌塔。連通管上還可以設(shè)有閥門。

本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置隔板將循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域隔離出來(lái)，從而解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問(wèn)題。然而，與此同時(shí)，由于循環(huán)空間的封閉設(shè)置，導(dǎo)致其上方的潔凈空間的氣流循環(huán)無(wú)法完成，因此，在潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱，通過(guò)回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán)。至于回風(fēng)柱的數(shù)量，應(yīng)當(dāng)根據(jù)實(shí)際情況設(shè)定。

所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)的作用是使其內(nèi)的氣體向上流動(dòng)，形成氣流循環(huán)。

由于回風(fēng)柱的設(shè)置，其對(duì)應(yīng)的潔凈空間可以順利的完成氣流循環(huán)，因此其兩側(cè)的回風(fēng)通道就成了擺設(shè)，因此，可以將回風(fēng)通道取消，改造成正常的潔凈空間使用，增加可用空間。

上述技術(shù)方案中，所述架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有隔板，使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述架構(gòu)空間、高架地板和潔凈空間內(nèi)相對(duì)于所述密閉空間的位置均設(shè)有隔板，使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。

上述技術(shù)方案中，所述密閉空間的頂端設(shè)有密封板，所述密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。

上述技術(shù)方案中，所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管。以進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)。在某些生產(chǎn)區(qū)域，設(shè)備發(fā)熱量低但潔凈風(fēng)需求量多，造成實(shí)際需要通過(guò)干盤管的風(fēng)量比真正通過(guò)的風(fēng)量多，形成能源浪費(fèi)。此時(shí)還可以在天花板上增設(shè)回風(fēng)口，搭配回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)置的干盤管，而獲得上述問(wèn)題的較好解決。

由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：