[實(shí)用新型]一種利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420119775.6
• 申請(qǐng)日: 2014-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN203811148U
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉志強(qiáng);宋慶和;李迅鵬;曾春華;樓宇麗;桂進(jìn)斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆明理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/30
• 分類號(hào): G01B11/30
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置，其特征在于：包括激光多普勒測(cè)振儀（1）、數(shù)據(jù)傳輸線（2）、數(shù)據(jù)采集器（3）、電動(dòng)載物臺(tái)控制器（4）、固有針尖的微懸臂（5）、微懸臂固定桿（6）、電動(dòng)載物臺(tái)（7）、電動(dòng)載物臺(tái)固定座（8）、工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（9）、激光多普勒測(cè)振儀固定架（10）、底座（11）；所述激光多普勒測(cè)振儀固定架（10）和微懸臂固定桿（6）均固定在底座（11）上，電動(dòng)載物臺(tái)（7）固定在電動(dòng)載物臺(tái)固定座（8）上可整體移動(dòng)，固有針尖的微懸臂（5）固定在微懸臂固定桿（6）上，激光多普勒測(cè)振儀（1）安裝在激光多普勒測(cè)振儀固定架（10）上，激光多普勒測(cè)振儀（1）可以拆卸，激光多普勒測(cè)振儀（1）通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線（2）與數(shù)據(jù)采集器（3）相連接，數(shù)據(jù)采集器（3）通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線（2）連接到工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（9）用于將測(cè)得的數(shù)據(jù)傳輸給工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（9），電動(dòng)載物臺(tái)（7）通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線（2）與電動(dòng)載物臺(tái)控制器（4）相連接，電動(dòng)載物臺(tái)控制器（4）通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線（2）連接到工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（9）用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)載物臺(tái)（7）接近固有針尖的微懸臂（5）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置，其特征在于：所述微懸臂固定桿（6）、激光多普勒測(cè)振儀固定架（10）高度可以微距離調(diào)節(jié)。