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[實用新型]一種利用多普勒測振原理測量表面形貌的裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201420119775.6 申請日: 2014-03-18
公開(公告)號: CN203811148U 公開(公告)日: 2014-09-03
發(fā)明(設計)人: 劉志強;宋慶和;李迅鵬;曾春華;樓宇麗;桂進斌 申請(專利權)人: 昆明理工大學
主分類號: G01B11/30 分類號: G01B11/30
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 650093 云*** 國省代碼: 云南;53
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 利用 多普勒 原理 測量 表面 形貌 裝置
【權利要求書】:

1.一種利用多普勒測振原理測量表面形貌的裝置,其特征在于:包括激光多普勒測振儀(1)、數(shù)據(jù)傳輸線(2)、數(shù)據(jù)采集器(3)、電動載物臺控制器(4)、固有針尖的微懸臂(5)、微懸臂固定桿(6)、電動載物臺(7)、電動載物臺固定座(8)、工業(yè)控制計算機(9)、激光多普勒測振儀固定架(10)、底座(11);所述激光多普勒測振儀固定架(10)和微懸臂固定桿(6)均固定在底座(11)上,電動載物臺(7)固定在電動載物臺固定座(8)上可整體移動,固有針尖的微懸臂(5)固定在微懸臂固定桿(6)上,激光多普勒測振儀(1)安裝在激光多普勒測振儀固定架(10)上,激光多普勒測振儀(1)可以拆卸,激光多普勒測振儀(1)通過數(shù)據(jù)傳輸線(2)與數(shù)據(jù)采集器(3)相連接,數(shù)據(jù)采集器(3)通過數(shù)據(jù)傳輸線(2)連接到工業(yè)控制計算機(9)用于將測得的數(shù)據(jù)傳輸給工業(yè)控制計算機(9),電動載物臺(7)通過數(shù)據(jù)傳輸線(2)與電動載物臺控制器(4)相連接,電動載物臺控制器(4)通過數(shù)據(jù)傳輸線(2)連接到工業(yè)控制計算機(9)用于驅(qū)動電動載物臺(7)接近固有針尖的微懸臂(5)。

2.根據(jù)權利要求1所述的利用多普勒測振原理測量表面形貌的裝置,其特征在于:所述微懸臂固定桿(6)、激光多普勒測振儀固定架(10)高度可以微距離調(diào)節(jié)。

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