[實(shí)用新型]一種利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420119775.6 | 申請(qǐng)日: | 2014-03-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN203811148U | 公開(公告)日: | 2014-09-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉志強(qiáng);宋慶和;李迅鵬;曾春華;樓宇麗;桂進(jìn)斌 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昆明理工大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01B11/30 | 分類號(hào): | G01B11/30 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 650093 云*** | 國(guó)省代碼: | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 利用 多普勒 原理 測(cè)量 表面 形貌 裝置 | ||
1.一種利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置,其特征在于:包括激光多普勒測(cè)振儀(1)、數(shù)據(jù)傳輸線(2)、數(shù)據(jù)采集器(3)、電動(dòng)載物臺(tái)控制器(4)、固有針尖的微懸臂(5)、微懸臂固定桿(6)、電動(dòng)載物臺(tái)(7)、電動(dòng)載物臺(tái)固定座(8)、工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(9)、激光多普勒測(cè)振儀固定架(10)、底座(11);所述激光多普勒測(cè)振儀固定架(10)和微懸臂固定桿(6)均固定在底座(11)上,電動(dòng)載物臺(tái)(7)固定在電動(dòng)載物臺(tái)固定座(8)上可整體移動(dòng),固有針尖的微懸臂(5)固定在微懸臂固定桿(6)上,激光多普勒測(cè)振儀(1)安裝在激光多普勒測(cè)振儀固定架(10)上,激光多普勒測(cè)振儀(1)可以拆卸,激光多普勒測(cè)振儀(1)通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線(2)與數(shù)據(jù)采集器(3)相連接,數(shù)據(jù)采集器(3)通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線(2)連接到工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(9)用于將測(cè)得的數(shù)據(jù)傳輸給工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(9),電動(dòng)載物臺(tái)(7)通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線(2)與電動(dòng)載物臺(tái)控制器(4)相連接,電動(dòng)載物臺(tái)控制器(4)通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸線(2)連接到工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(9)用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)載物臺(tái)(7)接近固有針尖的微懸臂(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用多普勒測(cè)振原理測(cè)量表面形貌的裝置,其特征在于:所述微懸臂固定桿(6)、激光多普勒測(cè)振儀固定架(10)高度可以微距離調(diào)節(jié)。
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