[實用新型]一種超細晶粒多晶硅鑄錠爐

有效

• 申請號: 201420115801.8
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN203795017U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 蔣興賢
• 申請（專利權）人: 常州兆晶光能有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超細晶粒多晶硅鑄錠爐，其特征在于，包括爐架、下爐體、散熱塊、坩堝、惰氣出口、上爐體、隔熱籠、提升機、固定架、惰氣入口、加熱器、護板、硅料、成核層、隔熱條、定向助凝塊、隔熱底板、起重電機、方環散熱條和圓柱散熱塊；所述爐體為不銹鋼雙層壁水冷式爐體，所述上爐體為鐘罩形，通過方鋼結構焊接固定于爐架上，所述下爐體呈倒鐘罩形，通過三個重型起重螺桿與上爐體相連，由電機驅動上下移動，實現下爐體打開和關閉操作；上爐體頂部設置有多個絕緣銅饋入裝置將高交流電流導入石墨加熱器；所述上爐體頂部設置有滑動裝置，彼此間通過柔韌的驅動纜線連接在一起，所述纜線將加熱區隔熱籠上下移動，來控制硅鑄錠的生長；所述隔熱籠下部設置有隔熱底板，所述隔熱板通過支撐柱與下爐體固定連接，所述隔熱底板上設置有定向助凝塊，所述定向助凝塊上裝配有坩堝；所述坩堝底部設置有散熱塊，所述散熱塊與坩堝為一體結構，所述散熱塊包括方環散熱條和圓滿柱散熱塊，在所述坩堝底部四周設置有隔熱條；所述坩堝四周和頂部設置有護板；所述坩堝的內部底面噴制的細粒徑的石英砂成核層；所述坩堝內表面噴涂有氮化硅涂層，所述坩堝內部裝填有硅料。?

2.根據權利要求1所述的一種超細晶粒多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述坩堝內部底表面，噴制有石英砂成核層，所述石英砂成核層厚度為0.1mm—1.0mm;所述石英砂粒徑為50—120微米。?

3.根據權利要求1所述的一種超細晶粒多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述散熱塊包括方環散熱條和圓柱散熱塊組成；所述散熱塊高度相同，其高度為50mm—200mm；所述方環散熱條至少設置二條，所述圓柱散熱塊沿中心區域環形分布，所述圓柱散熱塊越靠近中心區域設置的散熱規密度越大，至少設置一環六個以上；所述方環散熱條寬度為20mm—100mm；所述圓柱散熱塊直徑為30mm—80mm。?

4.根據權利要求1所述的一種超細晶粒多晶硅鑄錠爐，其特征在于，所述隔熱條填充到坩堝底部四周邊緣，所述隔熱條至少設置二塊以上，尺寸為長度*寬度*厚度=（800mm—1200mm）*（80mm—120mm）*（30mm—60mm）。?