[實用新型]化學液存儲瓶

有效

• 申請號: 201420115543.3
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN203767209U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 溫子瑛
• 申請（專利權）人: 無錫華瑛微電子技術有限公司
• 主分類號: B65D1/02
• 分類號: B65D1/02;B65D23/00;B29C45/00;B29C65/02
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

【技術領域】

本實用新型涉及液體存放容器領域，特別涉及化學液存儲瓶。

【背景技術】

通常可用做化學藥品自動化傳輸的化學藥液存儲瓶，是由一個瓶身和一個含多個通道的瓶蓋組成，如高效液相色譜(HPLC)中流動液的存儲瓶。將用于傳輸化學液體的管子的一頭通過瓶蓋上的通道進入瓶中，定位在接近瓶子的底部地區，再將管子的另一頭接到一個液泵入口上，通過液泵產生的吸力將化學液傳輸到要傳輸的地方。為了保證液泵傳送化學液速度的穩定，通常會通過瓶蓋的另一個通道，給存儲瓶輸入氮氣，在液面產生低壓，以保證液泵進口有足夠的液體供應。

在半導體制造業，常需要采用各種化學藥液對基體進行清洗、刻蝕和做特殊表面的準備。由于高端半導體產品的制造工藝對基體表面潔凈度的要求超高，為了避免在化學液配制、傳輸過程中有可能發生的污染及安全問題，從化學藥液的配制、傳送，到使用完后的收集過程都需要采用全自動控制機制。這就需要特制的化學藥液存儲瓶以滿足化學藥液全自動化傳輸。

可應用于半導體制造的化學液存儲瓶必須滿足耐腐蝕、不影響化學液純度及超凈度的要求。在半導體制造業常采用含有氫氟酸的化學配方，對化學液中的金屬污染濃度要求在十億分之一(ppb)水平之下，因此，化學液瓶通常采用超純、耐腐蝕的塑料材料制成，如：聚乙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE、PFA、PVDF)等。市場上可選用的塑料瓶主要分為兩種：一種是由瓶身和含有多通道的瓶蓋兩部分組成的結構；一種是瓶身和瓶蓋一體的結構。

為了減少化學液中的顆粒污染，在化學液的傳輸過程需要盡可能地避免使用液泵，而是通過往化學液存儲瓶輸入氮氣，在化學液存儲瓶中產生壓力，將瓶中的化學液壓出瓶中。常見的瓶身和瓶蓋可分離的塑料瓶能承受的壓力很有限，通常在10psi氣體壓力狀態時，在瓶蓋和瓶身的連接處就會發生氣體泄漏，這不僅限制瓶中壓力的增高，同時由于泄漏的氣體會同時帶出化學蒸汽，產生安全隱患。而瓶身瓶蓋一體的瓶子，能很好的解決氣體泄漏的問題，但通常因為需要特制模具，制造成本很高。

有必要提出一種改進的技術方案來克服上述問題。

【實用新型內容】

本實用新型的目的在于提供一種容易制造，成本較低，同時能夠承較大的內部壓力的化學液存儲瓶。

為了實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，本實用新型公開了一種化學液存儲瓶，其包括：瓶端口部，其包括頂壁、自所述頂壁的邊緣延伸而成的端口側壁、自所述頂壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向內延伸的接合孔以及自所述接合孔繼續向內延伸并貫穿所述頂壁的管線孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管線孔的尺寸；與所述瓶端口部接合在一起的瓶本體部，其中所述瓶端口部和所述瓶本體部共同形成一個容納腔，該容納腔僅通過所述管線孔與外界相通；其內設置有通孔的接合部件，該接合部件可拆卸的固定于所述接合孔內，在接合部件固定于所述接合孔內時，所述通孔與所述管線孔形成管線通道，傳輸管線能夠通過所述管線通道延伸入所述容納腔內。借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容納腔成為一個封閉的空腔。

進一步的，所述瓶端口部還包括有自所述頂壁的邊緣延伸而成的外緣部，所述外緣部的延伸方向與所述端口側壁的延伸方向相反，所述外緣部和所述頂壁共同圍成有凹槽，所述凹槽容納從所述化學液存儲瓶泄露出的化學液。

進一步的，所述外緣部上形成有與所述凹槽相通的排泄孔。

進一步的，所述凸起部包括有位于所述頂壁的中部的凸臺以及環繞所述凸臺的凸肋，所述凸臺上形成有一個接合孔，在所述凸肋上形成有至少一個接合孔。

進一步的，所述瓶本體部包括瓶腔體部和瓶體底部，所述瓶腔體部為中空的柱體，所述瓶腔體部的柱體一端與所述瓶端口部通過焊接接合在一起，所述瓶腔體部的柱體另一端與所述瓶體底部通過焊接結合在一起。

進一步的，所述瓶體底部包括底壁、自所述底壁的邊緣延伸而成的底部側壁和自所述底壁的邊緣延伸而成的支撐部，所述支撐部的延伸方向與所述底部側壁的延伸方向相反，所述底部側壁與所述瓶腔體部通過焊接接合在一起。

進一步的，所述瓶體底部的結構與所述瓶端口部的結構的區別僅在于所述瓶體底部上并未設置所述瓶端口部中的接合孔和管線孔，所述瓶體底部和所述瓶端口部是使用同一個模具注塑加工而成的。

進一步的，所述瓶腔體部是由至少兩個柱形瓶腔體元件焊接而成。

進一步的，所述瓶本體部的結構與所述瓶端口部的結構的區別僅在于所述瓶體底部上并未設置所述瓶端口部中的接合孔和管線孔，所述瓶本體部和所述瓶端口部是使用同一個模具注塑加工而成的。