[實用新型]一種離子輸運裝置

有效

• 申請號: 201420114564.3
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN203788543U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 尚勇;朱昆;顏學慶
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: H05H15/00
• 分類號: H05H15/00
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;馮麗欣

1.一種離子輸運裝置，其特征在于，包括連接套筒、收集狹縫板、收集透鏡組、矯正磁鐵、分子泵和輔助收集透鏡組，所述收集狹縫板上設置有收集狹縫，所述收集透鏡組、矯正磁鐵、分子泵和輔助收集透鏡組按照離子束傳輸的方向依次設置在所述收集狹縫板的后側，所述連接套筒套裝在所述收集狹縫板和收集透鏡組上。

2.根據權利要求1所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述連接套筒為前端設有通孔、后端開口的帶底筒狀結構，在所述連接套筒前端面中心位置設有所述通孔。

3.根據權利要求2所述的離子輸運裝置，其特征在于，還包括上游真空管，所述收集透鏡組套裝在所述上游真空管的徑向外側。

4.根據權利要求3所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述上游真空管與所述連接套筒一體形成；或者，

所述上游真空管與所述連接套筒分體形成，所述上游真空管的前端設置在所述通孔中。

5.根據權利要求2所述的離子輸運裝置，其特征在于，在所述連接套筒上位于所述連接套筒軸向前端和后端之間的位置設置激光靶室連接部。

6.根據權利要求2所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述連接套筒的筒身部分套裝在所述收集透鏡組的徑向外側。

7.根據權利要求6所述的離子輸運裝置，其特征在于，在所述連接套筒內壁上與所述收集透鏡組對應的位置設置有透鏡固定裝置；優選的，所述透鏡固定裝置與所述連接套筒一體形成或者分體形成。

8.根據權利要求7所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述透鏡固定裝置從所述連接套筒的內壁沿徑向向連接套筒的內部延伸，其徑向最內端卡接在所述收集透鏡組的外壁上。

9.根據權利要求7或8所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述透鏡固定裝置為板、桿、圓環或框架結構。

10.根據權利要求9所述的離子輸運裝置，其特征在于，在所述連接套筒筒壁上靠近內壁的位置設置T形槽，在所述透鏡固定裝置與所述連接套筒連接的位置設置與所述T形槽對應的T形突起。

11.根據權利要求1所述的離子輸運裝置，其特征在于，在所述輔助收集透鏡組的徑向內側設置有下游真空管。

12.根據權利要求3所述的離子輸運裝置，其特征在于，所述收集狹縫板與所述上游真空管分體形成，所述收集狹縫板設置在所述上游真空管靠近激光靶的一端；或者，

所述收集狹縫板與所述上游真空管一體形成，所述收集狹縫板位于所述上游真空管的靠近激光靶的一端。