[實(shí)用新型]化學(xué)液存儲瓶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420113634.3
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN203767208U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫子瑛
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
• 主分類號: B65D1/02
• 分類號: B65D1/02;B65D23/00;B29C45/00;B29C65/02
• 代理公司: 無錫互維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及液體存放容器領(lǐng)域，特別涉及化學(xué)液存儲瓶。

【背景技術(shù)】

通常可用做化學(xué)藥品自動(dòng)化傳輸?shù)幕瘜W(xué)藥液存儲瓶，是由一個(gè)瓶身和一個(gè)含多個(gè)通道的瓶蓋組成，如高效液相色譜(HPLC)中流動(dòng)液的存儲瓶。將用于傳輸化學(xué)液體的管子的一頭通過瓶蓋上的通道進(jìn)入瓶中，定位在接近瓶子的底部地區(qū)，再將管子的另一頭接到一個(gè)液泵入口上，通過液泵產(chǎn)生的吸力將化學(xué)液傳輸?shù)揭獋鬏數(shù)牡胤健榱吮ＷC液泵傳送化學(xué)液速度的穩(wěn)定，通常會通過瓶蓋的另一個(gè)通道，給存儲瓶輸入氮?dú)猓谝好娈a(chǎn)生低壓，以保證液泵進(jìn)口有足夠的液體供應(yīng)。

在半導(dǎo)體制造業(yè)，常需要采用各種化學(xué)藥液對基體進(jìn)行清洗、刻蝕和做特殊表面的準(zhǔn)備。由于高端半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造工藝對基體表面潔凈度的要求超高，為了避免在化學(xué)液配制、傳輸過程中有可能發(fā)生的污染及安全問題，從化學(xué)藥液的配制、傳送，到使用完后的收集過程都需要采用全自動(dòng)控制機(jī)制。這就需要特制的化學(xué)藥液存儲瓶以滿足化學(xué)藥液全自動(dòng)化傳輸。

可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的化學(xué)液存儲瓶必須滿足耐腐蝕、不影響化學(xué)液純度及超凈度的要求。在半導(dǎo)體制造業(yè)常采用含有氫氟酸的化學(xué)配方，對化學(xué)液中的金屬污染濃度要求在十億分之一(ppb)水平之下，因此，化學(xué)液瓶通常采用超純、耐腐蝕的塑料材料制成，如：聚乙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE、PFA、PVDF)等。市場上可選用的塑料瓶主要分為兩種：一種是由瓶身和含有多通道的瓶蓋兩部分組成的結(jié)構(gòu)；一種是瓶身和瓶蓋一體的結(jié)構(gòu)。

為了減少化學(xué)液中的顆粒污染，在化學(xué)液的傳輸過程需要盡可能地避免使用液泵，而是通過往化學(xué)液存儲瓶輸入氮?dú)猓诨瘜W(xué)液存儲瓶中產(chǎn)生壓力，將瓶中的化學(xué)液壓出瓶中。常見的瓶身和瓶蓋可分離的塑料瓶能承受的壓力很有限，通常在10psi氣體壓力狀態(tài)時(shí)，在瓶蓋和瓶身的連接處就會發(fā)生氣體泄漏，這不僅限制瓶中壓力的增高，同時(shí)由于泄漏的氣體會同時(shí)帶出化學(xué)蒸汽，產(chǎn)生安全隱患。而瓶身瓶蓋一體的瓶子，能很好的解決氣體泄漏的問題，但通常因?yàn)樾枰刂颇＞撸圃斐杀竞芨摺?/p>

有必要提出一種改進(jìn)的技術(shù)方案來克服上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

本實(shí)用新型的目的在于提供一種容易制造，成本較低，同時(shí)能夠收集泄漏液體的化學(xué)液存儲瓶。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)液存儲瓶，其包括：瓶端口部，其包括頂壁、自所述頂壁的邊緣延伸而成的端口側(cè)壁、自所述頂壁的邊緣延伸而成的外緣部，所述外緣部的延伸方向與所述端口側(cè)壁的延伸方向相反，所述外緣部和所述頂壁共同圍成有凹槽，所述凹槽容納從所述化學(xué)液存儲瓶泄露出的化學(xué)液；與所述瓶端口部接合在一起的瓶本體部，其中所述瓶端口部和所述瓶本體部共同形成一個(gè)容納腔，所述頂壁上設(shè)置有供傳輸管線穿過的與所述容納腔相通的瓶口。

進(jìn)一步的，所述外緣部上形成有與所述凹槽相通的排泄孔。

進(jìn)一步的，所述瓶口包括自所述頂壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向內(nèi)延伸的接合孔以及自所述接合孔繼續(xù)向內(nèi)延伸并貫穿所述頂壁的管線孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管線孔的尺寸，所述化學(xué)液存儲瓶還包括其內(nèi)設(shè)置有通孔的接合部件，該接合部件可拆卸的固定于所述接合孔內(nèi)，在接合部件固定于所述接合孔內(nèi)時(shí)，所述通孔與所述管線孔形成管線通道，傳輸管線能夠通過所述管線通道延伸入所述容納腔內(nèi)，借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容納腔成為一個(gè)封閉的空腔。

進(jìn)一步的，所述凸起部包括有位于所述頂壁的中部的凸臺以及環(huán)繞所述凸臺的凸肋，所述凸臺上形成有一個(gè)接合孔，在所述凸肋上形成有至少一個(gè)接合孔。

進(jìn)一步的，所述瓶本體部包括瓶腔體部和瓶體底部，所述瓶腔體部為中空的柱體，所述瓶腔體部的柱體一端與所述瓶端口部通過焊接接合在一起，所述瓶腔體部的柱體另一端與所述瓶體底部通過焊接結(jié)合在一起。

進(jìn)一步的，所述瓶體底部包括底壁、自所述底壁的邊緣延伸而成的底部側(cè)壁和自所述底壁的邊緣延伸而成的支撐部，所述支撐部的延伸方向與所述底部側(cè)壁的延伸方向相反，所述底部側(cè)壁與所述瓶腔體部通過焊接接合在一起。

進(jìn)一步的，所述瓶體底部和所述瓶端口部是使用同一個(gè)模具注塑加工而成的。

進(jìn)一步的，所述瓶腔體部是由至少兩個(gè)柱形瓶腔體元件焊接而成。

進(jìn)一步的，所述瓶本體部和所述瓶端口部是使用同一個(gè)模具注塑加工而成的。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型中提出的化學(xué)液存儲瓶，能同時(shí)滿足易于制造，較低成本，收集泄漏液體等需求。

【附圖說明】