[實用新型]一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420112881.1
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號: CN203823957U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊政諭
• 申請（專利權(quán)）人: 亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: F24F3/16
• 分類號: F24F3/16;F24F13/28
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，能夠?qū)⑸a(chǎn)車間污染物濃度穩(wěn)定維持在期望范圍內(nèi)，可以用作為低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房。

背景技術(shù)

隨著電子等高新技術(shù)的發(fā)展，環(huán)境中污染物的濃度往往可能會對產(chǎn)品造成電性飄移或不穩(wěn)定的現(xiàn)象。目前的應(yīng)用需求，有兩大類別，一種是一定要低于某一極低值，此如12寸芯片廠；另一類則是容許污染物的存在，但污染物的濃度不可以有忽大忽小或不同位置的大變異的情況，此如低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房。

以下即就低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房說明如下：

現(xiàn)有技術(shù)中，TFT?LCD可分為多晶硅(Poly-Si?TFT)與非晶硅(a-Si?TFT)，兩者的差異在于電晶體特性不同。多晶硅的分子結(jié)構(gòu)在一顆晶粒（Grain）中的排列狀態(tài)是整齊而有方向性的，因此電子移動率比排列雜亂的非晶硅快了200-300倍；一般所稱的TFT-LCD是指非晶硅，技術(shù)成熟，為LCD?的主流產(chǎn)品。而多晶硅品則主要包含高溫多晶硅(HTPS)與低溫多晶硅(LTPS)二種產(chǎn)品。

低溫多晶硅(Low?Temperature?Poly-silicon；簡稱LTPS)薄膜晶體管液晶顯示器（LTPS-TFT?LCD）是目前非常流行的一種顯示器，其是在封裝過程中，利用準分子鐳射作為熱源，鐳射光經(jīng)過投射系統(tǒng)后，會產(chǎn)生能量均勻分布的鐳射光束，投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當非晶硅結(jié)構(gòu)玻璃基板吸收準分子鐳射的能量后，會轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)，因整個處理過程都是在600℃以下完成，故一般玻璃基板皆可適用。

低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器具有高分辨率、高色彩飽和度、成本低廉的優(yōu)勢，被寄予厚望成為新一波的顯示器。藉由其高電路整合特性與低成本的優(yōu)勢，在中小尺寸顯示面板的應(yīng)用上有著絕對的優(yōu)勢。LTPS-TFT?LCD具有高分辨率、反應(yīng)速度快、高亮度、高開口率等優(yōu)點，加上由于LTPS-TFT?LCD的硅結(jié)晶排列較a-Si有次序，使得電子移動率相對高100倍以上，可以將外圍驅(qū)動電路同時制作在玻璃基板上，達到系統(tǒng)整合的目標、節(jié)省空間及驅(qū)動IC的成本。同時，由于驅(qū)動IC線路直接制作于面板上，可以減少組件的對外接點，增加可靠度、維護更簡單、縮短組裝制程時間及降低EMI特性，進而減少應(yīng)用系統(tǒng)設(shè)計時程及擴大設(shè)計自由度。

總所周知的，用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室對于氣相污染物（一般是指含B、P、硅氧化物等有機物）的濃度要求非?？量?，例如，對于12寸晶圓廠的20nm產(chǎn)品，其氣相污染物的濃度必修小于1ppt，因此其對潔凈室的要求非常高，因此成本極高。而對于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室而言，其對于氣相污染物（一般是指含B、P、硅氧化物等有機物）的濃度并沒有半導(dǎo)體廠房的潔凈室那么苛刻，其允許氣相污染物的濃度較高，但卻要求整個潔凈室空間內(nèi)各處的污染物的濃度在某一范圍內(nèi)保持一定的穩(wěn)定性，意即不允許某時段于潔凈車間內(nèi)出現(xiàn)污染物的濃度突然過高或持續(xù)飆高或某處濃度極高而某處濃度極低的情況。

為了過濾去除有機污染物，現(xiàn)有的方法都是在潔凈室的天花板上的風(fēng)機濾器單元(FFU)的入風(fēng)口處設(shè)置化學(xué)過濾器，參加附圖1所示。而對于目前常規(guī)的化學(xué)過濾器而言，初始狀態(tài)時，其吸附有機污染物的效果較好，可以獲得污染物濃度較低的潔凈空氣，但隨著使用時間的延長，其除雜效果會越來越差，獲得的潔凈空氣中的污染物濃度也越來越高。因此，從天花板上的風(fēng)機濾器單元送下來的潔凈空氣中的污染物濃度會隨著化學(xué)過濾器的使用時間的延長而越來越高，直到無法滿足污染物濃度要求。此時，一般會對化學(xué)過濾器進行更換。

然而，由于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房對潔凈室的要求是整個潔凈室空間內(nèi)各處的污染物的濃度于任何時間內(nèi)能夠穩(wěn)定保持在一定范圍內(nèi)，但天花板上的風(fēng)機濾器單元的化學(xué)過濾器更換，不論是全面更換或部份更換，都將導(dǎo)致潔凈室空間內(nèi)污染物的濃度突然下降或不同位置的污染物濃度產(chǎn)生極大差異，因此，造成極大的矛盾與產(chǎn)品適應(yīng)調(diào)整期，對生產(chǎn)造成損失。

因此，開發(fā)一種能維持潔凈空間內(nèi)污染物濃度恒定的潔凈室，對于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房或具有類似穩(wěn)定污染物濃度范圍的產(chǎn)業(yè)具有積極的現(xiàn)實意義。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，能夠?qū)⑸a(chǎn)車間污染物濃度穩(wěn)定維持在期望范圍內(nèi)，例如用于低溫多晶硅薄膜晶體管液晶顯示器廠房的潔凈室。

為達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種維持室內(nèi)污染物濃度穩(wěn)定的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)、潔凈空間和回風(fēng)通道；