[實用新型]氣瓶柜

有效

• 申請號: 201420109859.1
• 申請日: 2014-03-11
• 公開（公告）號: CN203735772U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 楊嘉明;周中揚
• 申請（專利權）人: 法液空電子設備股份有限公司
• 主分類號: A47B81/00
• 分類號: A47B81/00;F17C13/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 牛曉玲;吳鵬

技術領域

本實用新型為一種氣瓶柜，尤其是指一種具有氣隔件的氣瓶柜。

背景技術

半導體工廠內通常設置無塵室、電力系統、供水系統、空調系統、制程氣體系統及廢氣排放系統等，其中制程氣體系統尤為重要，不論是使用于氮封、氧化、硅晶片制造、摻雜或微影蝕刻，上述制程所需要的各類氣體大多具有腐蝕性、毒性或可燃性，一旦制程氣體系統不穩或設計不良，將導致增加制程氣體的成本，更甚者引起制程氣體的外泄。

故一般半導體工廠使用氣瓶柜管理制程所需氣體，氣瓶柜里放置高壓的制程氣體鋼瓶，并且為一密閉空間，藉以防止火源或制程氣體外泄。此外更保險的措施是于氣瓶柜內或外放置一惰性氣體鋼瓶，在更換制程氣體鋼瓶時，將惰性氣體瓶內惰性氣體吹沖于危險氣體瓶的氣流管路內，使其充滿惰性氣體，且此惰性氣體不會與制程氣體產生反應，確保更換作業安全。

然而，放置于氣瓶柜外的惰性氣體鋼瓶須額外設置其固定裝置，將惰性氣體鋼瓶固定以免發生傾倒危險；另一方面如將惰性氣體鋼瓶及制程氣體鋼瓶置于同一氣瓶柜的空間內時，將增加氣瓶柜排氣的排氣裝置成本。

因此，創作人受此啟發，秉持多年相關豐富研究經驗，進而研發一種新型的氣瓶柜，以期帶來更方便、安全且低成本的氣體管理。

實用新型內容

本實用新型的一種實施方式是在提供一種氣瓶柜，其應用于半導體制程，氣瓶柜包含一柜體、一氣隔件以及一氣流管路。柜體內部具有一空間。氣隔件置于柜體內，將柜體的空間區隔為一開放空間及一密閉空間，其中開放空間是用于放置半導體制程用的一惰性氣體瓶，密閉空間是用于放置半導體制程用的一危險氣體瓶。氣流管路連接惰性氣體瓶及危險氣體瓶，氣流管路將惰性氣體瓶內的惰性氣體流向密閉空間。本實用新型的氣隔件阻隔柜體的空間為開放空間及密閉空間，由于密閉空間已與開放空間區隔，比惰性氣體瓶及危險氣體瓶放置于同一氣瓶柜內的整體空間為小，密閉空間僅需設置成本較低的排氣裝置，藉此可減少氣瓶柜的密閉空間排氣的成本。

依據本實用新型的一實施例，上述實施例中還可包含一偵測器、一排氣裝置、一控制器及一控制面板，偵測器偵測密閉空間的一環境因素；排氣裝置設于氣瓶柜的密閉空間；控制器控制排氣裝置、氣流管路及偵測器，控制器用以管控惰性氣體瓶內的惰性氣體、危險氣體瓶內的危險氣體及環境因素；控制面板電性連接控制器及偵測器。上述偵測器可為一溫度偵測器、壓力偵測器或一火焰偵測器，環境因素可為溫度或壓力。上述還可包含一灑水器及一真空產生器，藉此消滅可能的火源及對氣流管路抽取真空。上述還可包含一逆止閥，其裝設于氣流管路，逆止閥使惰性氣體單向流通。上述惰性氣體瓶內的惰性氣體可為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危險氣體瓶內的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。

本實用新型的另一實施方式是在提供一種氣瓶柜，其應用于半導體制程，氣瓶柜包含一柜體、一氣隔件、一柜門及一氣流管路，柜體內部具有一空間；氣隔件置于柜體內，將柜體的空間區隔為一可開放空間及一密閉空間，其中開放空間是用于放置半導體制程用的一惰性氣體瓶，密閉空間是用于放置半導體制程用的一危險氣體瓶；柜門裝設于柜體，柜門用以密閉可開放空間；氣流管路連接惰性氣體瓶及危險氣體瓶，用以將惰性氣體瓶內的惰性氣體導引至氣流管路。

依據本實用新型的另一實施例，上述實施例中還可包含一偵測器、一排氣裝置、一控制器及一控制面板，偵測器偵測密閉空間的一環境因素；排氣裝置設于氣瓶柜的密閉空間；控制器控制排氣裝置、氣流管路及偵測器，控制器用以管控惰性氣體瓶內的惰性氣體、危險氣體瓶內的危險氣體及環境因素；控制面板電性連接控制器及偵測器。上述偵測器可為一溫度偵測器、壓力偵測器或一火焰偵測器，環境因素可為溫度或壓力。上述還可包含一灑水器及一真空產生器，藉此消滅可能的火源及對氣流管路抽取為真空。上述還可包含一逆止閥，其裝設于氣流管路，逆止閥使惰性氣體單向流通。上述惰性氣體瓶內的惰性氣體可為氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟環丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危險氣體瓶內的危險氣體為腐蝕性氣體、毒性氣體、可燃性氣體或助燃性氣體。