[實用新型]一種機臺以及研磨裝置

有效

• 申請號: 201420108358.1
• 申請日: 2014-03-11
• 公開（公告）號: CN203843665U
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 張銘汛;胡俊;孟祥德;馬力超
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27;B24B37/34
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

1.一種機臺，用于承載基板，其特征在于，所述機臺包括底座和設置在所述底座上的第一支撐部、第二支撐部，所述第一支撐部和所述第二支撐部用于共同支撐所述基板，且所述第一支撐部和所述第二支撐部中的一個能夠朝向或遠離所述第一支撐部和所述第二支撐部中的另一個移動。

2.根據權利要求1所述的機臺，其特征在于，所述底座上還設置有第三支撐部，所述第一支撐部和所述第二支撐部設置在所述第三支撐部的相對的兩側，所述第一支撐部和所述第二支撐部能夠朝向或遠離所述第三支撐部移動。

3.根據權利要求2所述的機臺，其特征在于，所述機臺還包括電機，所述電機的輸出軸與所述第三支撐部連接，用于帶動所述第三支撐部旋轉。

4.根據權利要求2所述的機臺，其特征在于，所述第一支撐部、所述第二支撐部和所述第三支撐部中的至少一個上設置有吸盤，用于吸附所述基板。

5.根據權利要求2所述的機臺，其特征在于，所述底座上還設置有升降件，所述升降件與所述第三支撐部連接，用于帶動所述第三支撐部上下移動。

6.根據權利要求1所述的機臺，其特征在于，所述底座上還設置有升降件，所述升降件與所述第一支撐部和第二支撐部連接，用于帶動所述第一支撐部和所述第二支撐部上下移動。

7.根據權利要求5或6所述的機臺，其特征在于，所述升降件包括活塞缸。

8.根據權利要求1至6中任意一項所述的機臺，其特征在于，所述底座上還設置有滑軌，所述第一支撐部和所述第二支撐部設置在所述滑軌上，所述第一支撐部和所述第二支撐部能夠沿所述滑軌移動。

9.根據權利要求8所述的機臺，其特征在于，所述機臺還包括驅動機構，所述驅動機構用于帶動所述第一支撐部和所述第二支撐部沿所述滑軌移動。

10.一種研磨裝置，包括研磨機和機臺，其特征在于，所述機臺為權利要求1至9中任意一項所述的機臺。