[實用新型]藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420106688.7 | 申請日： | 2014-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN203754854U | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 陳勇 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商標(biāo)專利事務(wù)所 51213 | 代理人： | 劉渝 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 藍寶石 晶體 熱交換 生長 氦氣 冷卻系統(tǒng) | ||
1.藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，主要晶體生長爐組成，其特征在于：在所述晶體生長爐上還連接有氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng)，所述氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng)包括通過出氣管連接在晶體生長爐上的冷卻器、以及通過進氣管連接在晶體生長爐上的氦氣壓縮凈化機組，所述冷卻器與氦氣壓縮凈化機組通過管道連接，在所述冷卻器與氦氣壓縮凈化機組之間的管道上還設(shè)有過濾器。
2.按照權(quán)利要求1所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述氦氣壓縮凈化機組中的壓縮機采用的是雙轉(zhuǎn)子壓縮機。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述進氣管上設(shè)有流量計。
4.按照權(quán)利要求3所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述進氣管上還設(shè)有流量控制器。
5.按照權(quán)利要求4所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述進氣管上還設(shè)有壓力表。
6.按照權(quán)利要求1或2所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng)還包括補氣裝置，所述補氣裝置包括連接在進氣管上的高壓充氣管，在所述高壓充氣管上設(shè)有高壓充氣閥。
7.按照權(quán)利要求6所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述進氣管上還設(shè)有位于高壓充氣管與晶體生長爐之間的送氣閥。
8.按照權(quán)利要求6所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述補氣裝置還包括設(shè)置在氦氣壓縮凈化機組與過濾器之間的低壓充氣管，在所述低壓充氣管上還設(shè)有由低壓充氣閥以及回氣逆止閥組成的低壓補氣閥組。
9.按照權(quán)利要求8所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述低壓充氣管與過濾器之間還設(shè)有由回氣閥以及回氣逆止閥組成的回氣閥組。
10.按照權(quán)利要求9所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)，其特征在于：在所述冷卻器上分別設(shè)有用于冷卻水流通的進水管以及出水管。
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