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[實用新型]藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201420106688.7 申請日: 2014-03-10
公開(公告)號: CN203754854U 公開(公告)日: 2014-08-06
發(fā)明(設(shè)計)人: 陳勇 申請(專利權(quán))人: 陳勇
主分類號: C30B35/00 分類號: C30B35/00;C30B29/20
代理公司: 四川省成都市天策商標(biāo)專利事務(wù)所 51213 代理人: 劉渝
地址: 610000 四川省*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 藍寶石 晶體 熱交換 生長 氦氣 冷卻系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:

1.藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),主要晶體生長爐組成,其特征在于:在所述晶體生長爐上還連接有氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng),所述氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng)包括通過出氣管連接在晶體生長爐上的冷卻器、以及通過進氣管連接在晶體生長爐上的氦氣壓縮凈化機組,所述冷卻器與氦氣壓縮凈化機組通過管道連接,在所述冷卻器與氦氣壓縮凈化機組之間的管道上還設(shè)有過濾器。

2.按照權(quán)利要求1所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:所述氦氣壓縮凈化機組中的壓縮機采用的是雙轉(zhuǎn)子壓縮機。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述進氣管上設(shè)有流量計。

4.按照權(quán)利要求3所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述進氣管上還設(shè)有流量控制器。

5.按照權(quán)利要求4所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述進氣管上還設(shè)有壓力表。

6.按照權(quán)利要求1或2所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:所述氦氣冷卻循環(huán)系統(tǒng)還包括補氣裝置,所述補氣裝置包括連接在進氣管上的高壓充氣管,在所述高壓充氣管上設(shè)有高壓充氣閥。

7.按照權(quán)利要求6所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述進氣管上還設(shè)有位于高壓充氣管與晶體生長爐之間的送氣閥。

8.按照權(quán)利要求6所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:所述補氣裝置還包括設(shè)置在氦氣壓縮凈化機組與過濾器之間的低壓充氣管,在所述低壓充氣管上還設(shè)有由低壓充氣閥以及回氣逆止閥組成的低壓補氣閥組。

9.按照權(quán)利要求8所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述低壓充氣管與過濾器之間還設(shè)有由回氣閥以及回氣逆止閥組成的回氣閥組。

10.按照權(quán)利要求9所述的藍寶石晶體熱交換法生長爐氦氣冷卻系統(tǒng),其特征在于:在所述冷卻器上分別設(shè)有用于冷卻水流通的進水管以及出水管。

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