[實用新型]一種多晶爐測晶裝置有效
| 申請號: | 201420104952.3 | 申請日: | 2014-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN203728966U | 公開(公告)日: | 2014-07-23 |
| 發明(設計)人: | 史俊杰 | 申請(專利權)人: | 江蘇華盛天龍光電設備股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B29/06 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 爐測晶 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及多晶硅鑄錠爐提煉裝置領域,尤其是一種多晶爐測晶裝置。
背景技術
隨著光伏產業的發展,多晶硅鑄錠爐由于自身的自動化優勢,目前已經成為整個光伏產業鏈中的關鍵設備,相關的工藝都已經相當的成熟。但是在其全自動的長晶過程中,始終有一點沒有能夠完善的解決,那就是測量固定晶體位置的裝置。
目前市面上的多晶硅鑄錠爐測量晶體位置的辦法都是人工用石英棒探測固定的位置,然后記錄下相應的位置,通過每小時一次的測量就可以得出晶體的生長速度,最后微調相應參數就可以完成對設備的調試。這種方法雖然比較麻煩,在操作過程中稍不注意就會導致石英棒斷裂或者沾在硅晶體中拔不出來,出現事故,因此對于操作工有比較高的要求;但是這種調節只是在前期設備安裝或者更換熱場的時候才會有,頻率很低,所以對于一般生產廠家而言并不在乎這種麻煩。
隨著光伏技術的進步,目前很多生產廠家開始高效多晶,這種多晶的轉換效率將比普通多晶高出0.3%-0.4%,生產這種多晶將會大大提升的企業的競爭力,因此這種技術將會很快取代原來的生產普通多晶的技術成為市場主流。這種技術是使用硅片鋪在坩堝底部,然后在融化過程中通過測量在最底部的硅片還沒有全部融化時但又所剩很少時就開始轉到長晶過程。但是這種技術因為一些特殊原因的限制,并不能很好的做到傳承性,需要經常調整參數,這樣一來以前那種不在乎的問題就變得比較嚴重了。
發明內容
本實用新型要解決的技術問題是:為了克服上述中存在的問題,提供了一種多晶爐測晶裝置,其設計結構合理并且能夠實現自動測量晶體位置的目的。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種多晶爐測晶裝置,包括用于安裝在測量部位上的大法蘭、設在大法蘭上的安裝板、設在安裝板端部的電機、連接在電機輸出軸上的減速機和連接在減速機輸出端上的直線單元以及安裝在直線單元上并通過電機驅動的提升座,所述的提升座上設有石英管,石英管的開口端穿出大法蘭,石英管內設有石墨棒,提升座上設有磁鐵和與磁鐵相連接的限位開關,磁鐵貼近石英管側壁上,所述的磁鐵帶動石墨棒在石英管內上下移動。
為了能夠實現兩者之間的密封,所述的石英管與直線單元連接處設有密封裝置。
本實用新型的有益效果是:所述的一種多晶爐測晶裝置,采用此種設計的測晶裝置,能夠自動測量晶體位置,記錄下每次測量的位置供工藝人員參考調整相關參數,可以很方便的測量出晶體的位置,節省了大量的人力,而且石墨棒可以反復使用,也節省了大量的資源。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型所述的一種多晶爐測晶裝置的整體結構示意圖。
附圖中標記分述如下:1、大法蘭,2、安裝板,3、電機,4、減速機,5、直線單元,6、提升座,7、石英管,8、限位開關,9、石墨棒,10、磁鐵,11、密封裝置。
具體實施方式
現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結構,因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
如圖1所示的一種多晶爐測晶裝置,包括用于安裝在測量部位上的大法蘭1、設在大法蘭1上的安裝板2、設在安裝板2端部的電機3、連接在電機3輸出軸上的減速機4和連接在減速機4輸出端上的直線單元5以及安裝在直線單元5上并通過電機3驅動的提升座6,石英管7與直線單元5連接處設有密封裝置11,提升座6上垂直設有石英管7,石英管7的開口端穿出大法蘭1,石英管7內軸向設有石墨棒9,提升座6上設有磁鐵10和與磁鐵10相連接的限位開關8,磁鐵10貼近石英管7側壁上,磁鐵10帶動石墨棒9在石英管7內上下移動,限位開關8控制磁鐵10的運動。
本實用新型的一種多晶爐測晶裝置,自動測晶裝置通過直線單元5來實現機構的升降,當安裝在直線單元5上的提升座下降時,放置在提升座6上的磁鐵10會在重力的作用下帶著石墨棒9向下運動,直到石墨棒9碰到固體,而此時磁鐵10就會停下來與提升座6分離,提升座6繼續向下運動,則此時限位開關8就會提示兩者已經分離,然后電機3反轉帶動提升座6與磁鐵10向上運動,石墨棒9與硅液分離,編碼器自動記錄此時的位置,當測量的晶體達到要求的高度時,工藝人員就可以操作程序跳到下一步長晶程序,通過這種裝置,可以很方便的測量出晶體的位置,節省了大量的人力,而且石墨棒9可以反復使用,也節省了大量的資源。
以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內容,相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內,進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容,必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
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