[實用新型]六方軸結構

有效

• 申請號: 201420104875.1
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN203835986U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 沈喜豐
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業有限公司;洛陽北方玻璃技術股份有限公司
• 主分類號: F16C35/12
• 分類號: F16C35/12;F16C3/02;F16J15/16
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 朱俊躍

技術領域

本實用新型涉及一種機械結構，尤其涉及一種六方軸結構。?

背景技術

現有的磁控濺射旋轉靶內部的旋轉支撐結構（六方軸結構）采用自潤滑軸承，該自潤滑軸承容易磨損，導致磁鋼支座相對于靶筒產生偏心轉動，刮蹭靶筒，在一定程度上影響了磁場的均勻性，因而存在使整個旋轉濺射系統不穩定的問題。?

實用新型內容

本實用新型為解決現有自潤滑軸承容易磨損，導致磁鋼支座相對于靶筒產生偏心轉動，刮蹭靶筒，在一定程度上影響了磁場的均勻性，因而存在使整個旋轉濺射系統不穩定的問題，從而提供六方軸結構的技術方案。?

實用新型所述六方軸結構，包括：第一軸承、第二軸承、桶形的主軸芯和轉動軸，?

所述轉動軸可轉動的套設于所述主軸芯內；?

所述轉動軸的頭部與所述主軸芯的內壁之間設置所述第一軸承；?

所述轉動軸的尾部與所述主軸芯的內壁之間設置所述第二軸承。?

優選的，所述第一軸承為沖壓外圈滾針軸承。?

優選的，所述第二軸承為深溝球軸承。?

優選的，還包括：油封，所述油封設置于第二軸承的一側，位于轉動軸?的尾部。?

優選的，還包括：墊圈，所述墊圈設置于所述油封與所述第二軸承之間。?

優選的，所述轉動軸的尾部設置有一凹槽。?

優選的，所述主軸芯包括：軸芯部和連接端部，?

所述軸芯部與所述連接端部為一體式結構，所述軸芯部為管形結構，所述管形結構的端面外圈形狀為正六邊形；?

所述連接端部的端面的寬度大于所述正六邊形的外接圓的直徑，所述轉動軸的一端伸出所述連接端部。?

本實用新型的有益效果：?

本實用新型所述六方軸結構是磁控濺射旋轉靶驅動端頭內部帶動靶筒旋轉的一個部件，主要有作用：通過電機帶動靶筒旋轉；通過與水電端頭配合支撐磁鋼支座，使磁鋼支座與靶筒產生相對轉動；使驅動端與靶筒之間絕緣。?

本實用新型所述六方軸結構采用轉動軸取代軸頭，通過2個軸承、轉動軸和主軸芯配合有效的避免了磁鋼支座與靶筒的相對偏心轉動，達到了使整個旋轉濺射系統更穩定的目的。?

附圖說明

圖1為本實用新型所述六方軸結構的結構示意圖；?

圖2為六方軸結構與驅動端頭、磁鋼支架以及靶筒的連接結構示意圖。?

附圖中：1.第一軸承；2.主軸芯；21.軸芯部；22.連接端部；3.轉動軸；4.第二軸承；5.墊圈；6.油封；7.驅動端頭；8.六方軸結構；9磁鋼支座；10.靶筒；11水電端頭；12.驅動電機。?

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為本實?用新型的限定。?

如圖1所示，本實用新型的六方軸結構，包括：第一軸承1、第二軸承4、桶形的主軸芯2和轉動軸3，?

所述轉動軸3可轉動的套設于所述主軸芯2內；?

所述轉動軸3的頭部與所述主軸芯2的內壁之間設置所述第一軸承1；?

所述轉動軸3的尾部與所述主軸芯2的內壁之間設置所述第二軸承4。?

第一軸承1、第二軸承4使轉動軸3在轉動的同時保持軸中心位置的固定。?

如圖2所示，六方軸結構8的主軸芯2的一端固定于驅動電機12的驅動端頭7上，主軸芯2的另一端與靶筒10連接，通過驅動電機12帶動靶筒10旋轉；轉動軸3與磁鋼支座9連接，轉動軸3與的一端磁鋼支座9的一端連接，該磁鋼支座9的另一端固定于水電端頭11上。第一軸承1、第二軸承4使轉動軸3在轉動的同時保持軸中心位置的固定。主軸芯2為管形，該管一端的外圈的橫截面為正六邊形。?

上述技術方案中，第一軸承1為沖壓外圈滾針軸承。?

上述技術方案中，第二軸承4為深溝球軸承。?

上述技術方案中，還包括：油封6，油封6設置于第二軸承4的一側，位于轉動軸3的尾部。?

上述技術方案中，還包括：墊圈5，墊圈5設置于油封6與第二軸承4之間。?

上述技術方案中，轉動軸3的尾部設置有一凹槽，用以固定磁鋼支座9。?

上述技術方案中，主軸芯2包括：軸芯部21和連接端部22，?

軸芯部21與連接端部22為一體式結構，軸芯部21為管形結構，管形結?構的端面外圈形狀為正六邊形；?

連接端部22的端面的寬度大于正六邊形的外接圓的直徑，轉動軸3的一端伸出連接端部22。?

連接端部22與靶筒10連接。?

以上所述僅為本實用新型較佳的實施例，并非因此限制本實用新型的實施方式及保護范圍，對于本領域技術人員而言，應當能夠意識到凡運用本實用新型說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應當包含在本實用新型的保護范圍內。?