[實用新型]一種間距記錄裝置有效
| 申請號: | 201420103778.0 | 申請日: | 2014-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN203773940U | 公開(公告)日: | 2014-08-13 |
| 發明(設計)人: | 封偉博;陳雄博;吉成偉;王昕昕;羅光林 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 |
| 主分類號: | G11B5/012 | 分類號: | G11B5/012;G11B5/265 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 間距 記錄 裝置 | ||
1.一種間距記錄裝置,其特征在于,包括:一平面基座、一伸縮單元及一平面承壓頭;
所述伸縮單元的一端與所述平面基座連接;所述伸縮單元的另一端與所述平面承壓頭連接;其中,所述伸縮單元包括:第一腔體和嵌套于所述第一腔體內的第二腔體;
所述平面承壓頭第一表面與所述平面基座的第二表面平行,所述平面承壓頭第二表面與所述第二腔體相連。
2.如權利要求1所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述第一腔體與所述第二腔體之間的距離小于等于0.1mm。
3.如權利要求1所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述第一腔體的體壁上設置有多個螺絲,所述多個螺絲貫穿所述第一腔體的體壁。
4.如權利要求1所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述平面基座的側面設置有夾持單元。
5.如權利要求4所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述夾持單元的形狀為長方體或者圓柱體。
6.如權利要求1所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述平面基座的形狀為圓柱體、長方體或者正方體。
7.如權利要求1-6中任一項所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述平面承壓頭的形狀為圓柱體、長方體或者正方體。
8.如權利要求1-6中任一項所述的間距記錄裝置,其特征在于,所述間距記錄裝置的材質為鋁鎂合金。
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