[實用新型]一種漏液檢測裝置

有效

• 申請號: 201420103458.5
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN203771041U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 陶文松
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F17D5/06
• 分類號: F17D5/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及監漏技術領域，尤其涉及一種漏液檢測裝置。

背景技術

目前，現代化廠房（如半導體工廠）均安置有眾多電子設備，例如擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐、管式PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）、快速燒結爐、自動分揀機、平板式PECVD等。廠房中電子設備在工作時對溫度，濕度均有嚴格的要求，通常采用冷卻循環系統進行廠房內溫度的控制，這個冷卻循環系統一般由大量的管路構成。因此，隨之設置的是保證冷卻循環系統正常運行的監測漏液系統。

現有技術中的監測漏液系統，能夠在管路漏液或者爆裂時，系統發出報警，以便廠房的工作人員能夠發現漏液的位置，做出相應的解決措施，避免管路長時間泄漏，對整個冷卻循環系統造成性能的下降，嚴重時對管路附近的電子設備造成損壞或者影響其正常運行。例如半導體工長的機臺的冷卻循環系統或者中央供應超純化去離子水系統，一般在機臺內部轉接的接頭處安裝承漏盤的方式對系統管線的漏液情況進行監測。

但是，由于機臺的冷卻循環系統或者中央供應超純化去離子水系統中的管線較長，其管線分布在樓層地板上或者樓層高空支架上，不利于承漏盤的安裝，且無法根據管線的變化而靈活變化，導致會有監測漏液的盲區。此外，監測系統所應用的承漏盤，只有當漏液積累到一定量時才會觸發響應，延誤了維修的最佳時間，若液體泄漏過多，可能會滲漏到其他樓層，嚴重的會影響其他樓層機臺的正常工作。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種漏液檢測裝置，以解決現有監測漏液系統中應用承漏盤受管線分布的限制及承漏盤自身性能等因素的影響，致使在進行液體監漏時，有監測盲區及漏液響應不及時的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種漏液檢測裝置及液體監漏系統，所述漏液檢測裝置，包括：漏液探測環、及與所述漏液探測環相連的探測接頭；其中，

所述漏液探測環上平行設置有兩根環線；

所述探測接頭上平行設置有兩根接頭導線，所述兩根接頭導線分別與所述兩根環線相連。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述接頭導線具有導電性。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述環線具有導電性。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述兩根環線分為正環線及負環線。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述漏液探測環上還設置有搭扣。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述搭扣為防腐性材質的搭扣。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述漏液探測環通過所述搭扣嵌套于待監測管路上。

可選的，在所述的漏液檢測裝置中，所述漏液探測環為防腐性材質的漏液探測環。

可選的，所述探測接頭形狀為長方體、正方體或者圓柱體。

在本實用新型所提供的漏液檢測裝置中，通過探測接頭上的兩根接頭導線分別與漏液探測環上的兩根環線相連，當管路漏液時，液體經過設置于管路外側的漏液探測環上的兩根環線，此時兩根環線之間導通形成電信號，經與之相連的接頭導線傳送至探測接頭，實現漏液的監測，進而避免了現有監測漏液系統中應用承漏盤受管線分布的限制及承漏盤自身性能等因素的影響，致使在進行液體監漏時，有監測盲區及漏液響應不及時的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型漏液檢測裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的漏液檢測裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1，其為本實用新型實施例的漏液檢測裝置的結構示意圖。如圖1所示，所述漏液檢測裝置包括：漏液探測環1、及與所述漏液探測環1相連的探測接頭2；其中，所述漏液探測環1上平行設置有兩根環線10；所述探測接頭2上平行設置有兩根接頭導線20，所述兩根接頭導線20分別與所述兩根環線10相連。

具體的，兩根環線10以嵌入的方式設置于所述漏液探測環1中，所述漏液探測環的厚度大于等于環線10的直徑，當靠近設置了漏液探測環1的管路出現液體泄漏時，泄漏的液體與漏液探測環1接觸，進而引發相應的響應。