[實用新型]電子級氫氟酸生產用精餾塔

有效

• 申請號: 201420099086.3
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN203874487U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 胡洪峰
• 申請（專利權）人: 宣城亨泰化工科技有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;C01B7/19
• 代理公司: 合肥誠興知識產權代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

技術領域

本實用新型涉及電子級氫氟酸生產領域，具體涉及一種電子級氫氟酸生產用精餾塔。?

背景技術

電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業中生產集成電路，要求非金屬元素的含量Cl≦5000ppb、NO₃^-≦3000ppb、PO₄^3－≦1000ppb、SO₄^2－≦5000ppb，金屬元素的含量要求低于10ppb。目前對于電子級的氫氟酸生產主要是將工業氫氟酸進一步進行氧化和精餾除雜，但是，目前精餾后的得到的氫氟酸雜質含量還是較高。?

發明內容

本實用新型的目的是提供一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其可有效降低經精餾塔處理后的電子級氫氟酸中的雜質含量。?

為實現上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于：該精餾塔塔身上僅有提餾段設置用于檢修的手孔，精餾塔上方設置有對精餾塔氣相出口排出的蒸汽進行冷凝回流的冷凝器，冷凝器上冷凝液回流管的排液管口延伸至精餾塔內部，精餾塔內與冷凝液回流管的排液管口相對的位置處設置有板面沿水平方向布置的隔板，隔板將精餾塔內部分隔成上、下相隔的兩個區域，隔板上均勻開設有貫穿板體的插孔，各插孔內分別插設立狀布置的均流管，各均流管延伸至隔板上方的管口端部呈平齊狀設置。?

上述方案中，取消了傳統精餾塔在精餾段和提餾段均設置手孔的方案，避免手孔與精餾塔塔身的連接處無法達到很好的無縫粘合，形成泄漏點，防止外部的雜質進入精餾塔內污染電子級氫氟酸，保證產品的質量。?

進一步的方案為：冷凝液回流管的排液管口的高度低于均流管上端?管口的高度；冷凝液回流管的排液管口處套設有開口向下、蓋合在隔板上的圓形穩流罩，穩流罩側壁的周向均勻開設有通孔，該通孔的高度低于均流管上端的管口高度，插孔在位于穩流罩外圍的隔板板面上均勻開設；精餾塔塔高為19米，僅塔身下部9米設置用于檢修的手孔，且塔身高度每3米設置兩個手孔。?

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；?

圖2、3是A處的兩種局部放大示意圖。?

具體實施方式

本實用新型的目的在于提供一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其采取的方案如圖1所示，該精餾塔10塔身上僅有提餾段10b設置用于檢修的手孔12。在實際生產中，采用傳統的精餾塔10對氧化處理后的氫氟酸進行精餾往往達不到預期的精餾效果，通過大量的現場實驗分析后，發現其是由于精餾塔10上的手孔與精餾塔10身的連接處無法達到很好的無縫粘合，因此在精餾塔10的塔身上形成較多的泄漏點，而精餾制取的產品為電子級的DHF，任何一個泄漏點都會導致產品不合格。由于精餾塔10所精餾的原料氫氟酸的純度較高，經過提餾段的精餾后產品的純度已經很高，因此精餾塔10內精餾段10a的填料無需進行清洗，所以本實用新型中取消了在精餾塔10精餾段10a的手孔設置，僅在提餾段10b設置手孔12，盡最大的可能降低產品受到污染的風險，提高產品的合格率。同時取消手孔12也使精餾塔10的設備成本下降。當然這樣精餾段10a設備如果損壞只能返廠，無法現場通過手孔進行檢修。精餾塔10塔高為19米，僅塔身下部9米設置用于檢修的手孔12，且塔身高度每3米設置兩個手孔12，以及精餾塔10塔身包括6個3米的單元節以及塔頂疊加構成，下部的3個單元節中每個單元節上開設兩個手孔12。?