[實用新型]半導(dǎo)體晶圓的支撐腳裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420095714.0
• 申請日: 2014-03-04
• 公開（公告）號: CN203721701U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李廣義;趙宏宇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中的晶圓存儲臺，更具體地，涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲臺的晶圓支撐腳裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造業(yè)是一系列主要工藝步驟的循環(huán)和重復(fù)。許多制備工藝都包含發(fā)生在半導(dǎo)體工藝設(shè)備工藝腔內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)。現(xiàn)在，對半導(dǎo)體晶圓的處理工藝，通常要用到發(fā)生在工藝腔里的化學(xué)反應(yīng)。

按照不同性質(zhì)的處理工藝，晶圓往往需要在多個半導(dǎo)體工藝設(shè)備的工藝腔之間通過晶圓傳送系統(tǒng)進(jìn)行傳輸。在工藝設(shè)備內(nèi)，晶圓傳送系統(tǒng)的主要功能是裝載晶圓，所有的裝卸都由自動機(jī)械完成。晶圓從設(shè)備外部接收進(jìn)來，并在工藝進(jìn)行前的等候期間，需要一個暫時存儲的場所。存儲時用到的裝置是晶圓存儲臺，在其上端，是用于機(jī)械手拾取晶圓的支撐腳裝置。

目前，通常的晶圓支撐腳裝置一般包括安裝在存儲臺上的環(huán)形支撐環(huán)，以及安裝在支撐環(huán)圓周上的支撐晶圓的若干支撐腳，機(jī)械手可進(jìn)入相鄰二個支撐腳之間的空間拾取晶圓。

晶圓支撐裝置的設(shè)計要求能使晶圓放置平穩(wěn)，便于機(jī)械手操作，并能保護(hù)晶圓不被損壞。

中國實用新型專利CN202791172U支撐腳裝置公開了一種用于晶圓存儲臺的支撐腳裝置。該裝置通過安裝在支撐環(huán)上的可沿支撐環(huán)圓周調(diào)整位置的若干支撐腳來支撐放置在其上的晶圓。該裝置的設(shè)計形式雖然可方便地通過調(diào)整支撐腳在支撐環(huán)圓周的位置來滿足機(jī)械手的進(jìn)手空間，以便于機(jī)械手操作，但同時也存在明顯的問題：此支撐腳裝置由于支撐腳的晶圓支撐面位于支撐腳的前端，而與支撐環(huán)的裝配位置位于支撐腳的后端，使得支撐環(huán)的內(nèi)徑大于晶圓的外徑尺寸、支撐環(huán)的外徑露出晶圓外徑的部分很多。此問題帶來的缺陷是，一方面造成整個存儲臺的設(shè)計占用了較大的面積，另一方面在機(jī)械手故障或調(diào)試中，由于機(jī)械手抓取晶圓不牢或偏差，導(dǎo)致晶圓滑出支撐裝置而從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎，不但造成一定的經(jīng)濟(jì)損失，也影響到設(shè)備的生產(chǎn)效率。此外，該裝置可調(diào)整支撐腳在支撐環(huán)圓周位置的設(shè)計形式實際應(yīng)用價值并不高。為避免機(jī)械手碰撞到支撐腳，完全可以根據(jù)機(jī)械手進(jìn)手距離的最大波動范圍，對支撐環(huán)上支撐腳的安裝位置留有一定的防碰撞距離余量來防止。而且，該裝置支撐環(huán)的結(jié)構(gòu)也較復(fù)雜，造成加工難度大為提高，會帶來設(shè)備成本的增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲臺的新型晶圓支撐腳裝置，通過將支撐腳設(shè)計成按晶圓支撐面在外側(cè)、與支撐環(huán)的安裝位置在內(nèi)側(cè)方向布置的結(jié)構(gòu)，使支撐環(huán)的內(nèi)徑可小于晶圓的外徑尺寸，且支撐環(huán)的外徑露出晶圓外徑的部分很少，從而縮小了支撐環(huán)的直徑，減小了存儲臺的占地面積，并可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種半導(dǎo)體晶圓的支撐腳裝置，包括安裝在半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲臺上端的環(huán)形支撐環(huán)，安裝在支撐環(huán)圓周上的支撐晶圓的若干支撐腳。所述支撐腳為L形，其L形豎直部分的上端設(shè)有晶圓支撐面，其L形水平部分與所述支撐環(huán)安裝連接，且所述支撐腳按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的向心方向與所述支撐環(huán)安裝連接。本實用新型將現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的晶圓支撐面位置與裝配位置之間的結(jié)構(gòu)對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行改進(jìn)，由原來的晶圓支撐面位于內(nèi)側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于外側(cè)的前后設(shè)置形式，變?yōu)楸緦嵱眯滦偷木A支撐面位于外側(cè)、與支撐環(huán)之間的裝配位置位于內(nèi)側(cè)的前后設(shè)置形式。現(xiàn)有技術(shù)中支撐腳的結(jié)構(gòu)形式，使得支撐環(huán)的外徑遠(yuǎn)大于晶圓的直徑，造成存儲臺的占地面積相應(yīng)擴(kuò)大；且支撐環(huán)的內(nèi)徑大于晶圓的直徑，在機(jī)械手故障或調(diào)試中，由于機(jī)械手抓取晶圓不牢或偏差，會導(dǎo)致晶圓滑出支撐裝置而從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。本實用新型的新設(shè)計使支撐環(huán)得以整體縮小，從而可以節(jié)省晶圓存儲臺的占地面積。同時，支撐環(huán)的內(nèi)徑也由于與支撐腳安裝位置的對應(yīng)關(guān)系，而肯定小于各支撐腳的晶圓支撐面內(nèi)側(cè)所圍成的圓的直徑，保證了支撐環(huán)的內(nèi)徑小于晶圓的直徑，可避免晶圓在因偏差滑出支撐裝置時從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎。