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[實用新型]液體回收再利用裝置有效

專利信息
申請號: 201420095626.0 申請日: 2014-03-04
公開(公告)號: CN203795019U 公開(公告)日: 2014-08-27
發明(設計)人: 郭佩 申請(專利權)人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
主分類號: C30B33/00 分類號: C30B33/00
代理公司: 上海申新律師事務所 31272 代理人: 吳俊
地址: 430205 湖北*** 國省代碼: 湖北;42
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 液體 回收 再利用 裝置
【權利要求書】:

1.一種液體回收再利用裝置,應用于對應用材料機臺上制冷器的水管管路的保養中,所述水管管路上設置有出水口和進水口,其特征在于,所述液體回收再利用裝置包括;

一與所述進水口連接的吹氣裝置;

一與所述出水口連接的彈性容器;

其中,所述吹氣裝置向所述水管管路中吹氣,以將該水管管路中殘留的液體流入所述彈性容器中。

2.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述彈性容器上還設置有接頭母頭,用以將所述彈性容器與所述出水口密封連接。

3.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述彈性容器上和/或接頭母頭上還設置有排氣嘴,用以排出所述彈性容器中多余的氣體。

4.如權利要求3所述的裝置,其特征在于,通過一閥門來控制所述排氣嘴的閉合狀態。

5.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述接頭母頭設置有內螺紋或外螺紋,所述內螺紋或外螺紋的表面覆蓋有一層彈性材料薄膜。

6.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述接頭母頭材質為金屬。

7.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述彈性容器上設置有一銜接模塊,通過該所述銜接模塊與所述接頭母頭活動連接。

8.如權利要求2所述的裝置,其特征在于,所述彈性容器的內壁及所述接頭母頭的內壁均涂覆有一層防酸材料。

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