[實(shí)用新型]基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420094273.2
• 申請(qǐng)日: 2014-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203758529U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛長(zhǎng)國(guó);程韋;滕艷華;夏玲燕;陳兆權(quán);胡業(yè)林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安徽理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01D5/30
• 分類(lèi)號(hào): G01D5/30
• 代理公司: 安徽省合肥新安專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 34101
• 代理人: 何梅生;王偉

1.基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征是所述系統(tǒng)包括：

一用于發(fā)射水平激光束的激光器；所述激光器固設(shè)在可移動(dòng)位移平臺(tái)上；

一平面鏡，所述平面鏡傾斜設(shè)在水平激光束的前方，將水平激光束反射成照向微懸臂梁陣列的反射激光束，所述反射激光束用于待測(cè)微懸臂梁陣列的微懸臂梁自由端掃描；所述平面鏡固定在音圈電機(jī)上，利用音圈電機(jī)使平面鏡做水平往復(fù)運(yùn)動(dòng)；一光電位置敏感探測(cè)器，所述光電位置敏感探測(cè)器用于接收經(jīng)所述微懸臂梁自由端反射后所形成的激光束，并產(chǎn)生一個(gè)輸出信號(hào)；

一數(shù)據(jù)采集卡，所述數(shù)據(jù)采集卡用于采集光電位置敏感探測(cè)器的輸出信號(hào)；

一計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)用于處理數(shù)據(jù)采集卡所采集的數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述音圈電機(jī)用步進(jìn)電機(jī)代替，所述平面鏡固定設(shè)在步進(jìn)電機(jī)的電機(jī)軸上，利用步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)平面鏡繞電機(jī)軸做往復(fù)式擺動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述激光器為半導(dǎo)體激光器，激光光源為632nm-780nm范圍內(nèi)的單色光源。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述微懸臂梁陳列放置在溶劑池中的基體夾持臺(tái)上，溶劑池通過(guò)進(jìn)口管和出口管控制溶劑的進(jìn)出；所述溶劑池頂部設(shè)有透明玻璃窗。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述基體夾持臺(tái)的臺(tái)面與水平面形成0°-10°范圍內(nèi)的傾角。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于平面鏡反射的微懸臂梁陣列傳感器的微懸臂梁偏轉(zhuǎn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述溶劑池底部設(shè)有用于控制溶劑溫度的恒溫器。