[實用新型]用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構

有效

• 申請號: 201420091012.5
• 申請日: 2014-02-28
• 公開（公告）號: CN203714696U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 王毅博;李佳青
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路物料輸送系統技術領域，尤其涉及一種用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。為了增加傳送效率，降低輸送錯誤率，一個功能強大且性能穩定的自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）在300mm工廠里扮演了一個非常重要的角色。AMHS系統不僅可以有效的利用寶貴的潔凈室的生產空間，并且還可以提高生產設備的利用率，縮短在制品生產時間，所以在很多的300mm的半導體工廠里，AMHS都被視為可以快速提升產能，增加生產效率的尖兵利器。

現有的AMHS系統均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間（tool?to?tool輸送模式），或往返于機臺與暫存區Stocker之間（走道間系統interbay與走道內系統intrabay）。

輸送車作為AMHS系統的一部分，從第一代十幾年前只能低速走行單線軌道，只能移植裝載位于其正下方的硅片盒，到第二代可以高速走行在分歧軌道，第三代不僅可以走行在分歧軌道，還可以左右移載設置在STS、UTS上的硅片盒，再到第四代450mm搬運小車，更新速度可謂非常之快。一般的輸送車為抓取硅片盒通常采用傳動皮帶垂直升降相應的抓取模塊抓取機臺上的硅片盒。一般的輸送車距離地面3米以上，由于其高度較高，又要盡量快速且平穩的運送抓取重達9公斤的硅片盒，所以輸送車傳動模塊的穩定性很重要。

輸送車的抓取模塊由傳動模塊中纏繞于四個卷輪上的四根傳動皮帶負責控制升降，由于300mm的硅片盒重量較200mm的硅片盒增加不少，皮帶的負重增加，皮帶多次升降后會難免會產生變形，使四根傳動皮帶有長有短，導致抓取模塊的水平度改變，從而影響抓取的穩定性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構，通過可變直徑的卷輪來調節傳動皮帶的伸展長度，不需要拆卸更換傳動皮帶，從而保持抓取模塊的水平度，提高抓取穩定性。

為實現上述目的，本實用新型提供一種用于AMHS輸送車的卷輪，其為圓形且具有軸心，該圓形卷輪上至少有一段圓弧構成圓弧面體，該圓弧面體可分離于卷輪本體，該軸心位于卷輪本體上，該圓弧面體與卷輪本體之間具有可調兩者間距的連接件。

進一步地，該連接件分別與圓弧面體與卷輪本體相連接，并且該連接件還具有驅動件。

進一步地，該驅動件為氣動裝置、液壓裝置或齒輪件。

進一步地，該圓弧面體與卷輪本體之間可調間距為0.1-10cm。

進一步地，該圓弧面體與卷輪本體的連接縫呈一直線。

本實用新型還提供一種具有上述卷輪的傳動結構，其包括固定于輸送車車體的四個上述卷輪、各卷輪上的傳動皮帶以及與四根傳動皮帶下方連接的抓取模塊，每個卷輪上圓弧面體與卷輪本體之間的連接件均與輸送車車體內的控制單元信號連接。

本實用新型提供的用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構，通過將圓形卷輪分為圓弧面體和卷輪本體兩個部分，并以可調兩者間距的連接件相連，使卷輪的直徑可變，當卷輪上的傳動皮帶變形導致長度不一的情況發生時，通過本實用新型的結構調節卷輪的直徑，從而改變各傳動皮帶的長度，保證了抓取模塊的水平度，提高了AMHS系統的安全性和穩定性，省去維修更換傳動皮帶的時間，也提高了AMHS系統的工作效率。

附圖說明

為能更清楚理解本實用新型的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細描述，其中：

圖1a和1b是本實用新型第一實施例卷輪的結構示意圖；

圖2是具有第一實施卷輪的例輸送車的結構示意圖。

具體實施方式

請參閱圖1a，本實施例的用于AMHS輸送車的卷輪，作為懸吊式AMHS系統中OHT輸送車的一部分，其為圓形且具有軸心17，圓形卷輪的圓周上分為小圓弧14和大圓弧15，小圓弧14所在的卷輪構成了圓弧面體12，大圓弧15所在的卷輪構成了卷輪本體11，軸心17位于卷輪本體11上。